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湖北九峰山实验室袁俊获国家专利权

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龙图腾网获悉湖北九峰山实验室申请的专利宽禁带半导体沟槽MOSFET器件结构及其制作方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116799036B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-31发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310691457.0,技术领域涉及:H10D62/10;该发明授权宽禁带半导体沟槽MOSFET器件结构及其制作方法是由袁俊;郭飞;王宽;徐少东;彭若诗设计研发完成,并于2023-06-11向国家知识产权局提交的专利申请。

宽禁带半导体沟槽MOSFET器件结构及其制作方法在说明书摘要公布了:本发明提供一种宽禁带半导体沟槽MOSFET器件结构及其制作方法,上述的宽禁带半导体沟槽MOSFET器件结构包括:基底、P阱区、源极N+区、P+掩蔽层、N+导流层及栅极;P阱区和源极N+区依次设于基底上;P+掩蔽层设于基底的上部,且被基底包裹;N+导流层沿第一方向设于P+掩蔽层中;栅极沿第一方向嵌设于基底的上部、P阱区和源极N+区,栅极的底部与P+掩蔽层和N+导流层的上端部接触。该宽禁带半导体沟槽MOSFET器件结构具有如下优点:通过在栅极下方构造P+掩蔽层,可以有效降低槽角处的电场;在P+掩蔽层中构造N+导流层,可以进一步扩展电流的通路,降低导通电阻,从而能够有效提高器件性能的稳定性和可靠性。

本发明授权宽禁带半导体沟槽MOSFET器件结构及其制作方法在权利要求书中公布了:1.一种宽禁带半导体沟槽MOSFET器件结构,其特征在于,包括:基底、P阱区、源极N+区、P+掩蔽层、N+导流层及栅极; 所述P阱区和所述源极N+区依次设于所述基底上; 所述P+掩蔽层设于所述基底的上部,且被所述基底包裹; 所述N+导流层沿第一方向设于所述P+掩蔽层中; 所述栅极沿所述第一方向嵌设于所述基底的上部、所述P阱区和所述源极N+区,所述栅极的底部与所述P+掩蔽层和所述N+导流层的上端部接触; 所述栅极包括:栅极介质层、栅极硅和栅极沟槽; 所述栅极沟槽呈U形状,沿所述第一方向延伸设置; 所述栅极介质层设于所述栅极沟槽内壁侧;所述栅极硅填充于所述栅极沟槽的中部,且与所述栅极介质层接触; 所述N+导流层填充于所述P+掩蔽层中,以使所述P+掩蔽层的横截面呈U形结构; 所述P+掩蔽层和所述N+导流层的上表面与所述栅极沟槽的下表面接触设置; 所述P+掩蔽层包括多个P+掩蔽区; 多个所述P+掩蔽区沿所述第一方向依次间隔布置,所述N+导流层穿设于多个所述P+掩蔽区。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人湖北九峰山实验室,其通讯地址为:430000 湖北省武汉市东湖开发区关东科技工业园华光大道18号19层;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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