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珠海东辉半导体装备有限公司董岱获国家专利权

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龙图腾网获悉珠海东辉半导体装备有限公司申请的专利一种光斑分析系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116839728B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-31发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310815095.1,技术领域涉及:G01J1/42;该发明授权一种光斑分析系统是由董岱;杨军;张贤俊设计研发完成,并于2023-07-05向国家知识产权局提交的专利申请。

一种光斑分析系统在说明书摘要公布了:本发明涉及光斑分析系统,其包括壳体和分析组件,壳体设置有开口,设置于壳体内,用于光斑分析,分析组件包括准直透镜和用于将激光分解成反射光束和透射光束的楔形棱镜,以及用于测量反射光束的测量相机和用于吸收透射光束的尾光吸收器,准直透镜设置于开口处,楔形棱镜设置于准直透镜和测量相机之间,其中一个分析组件设置有聚焦透镜,聚焦透镜设置于楔形棱镜和测量相机之间。本发明可应用于不同波长的大功率激光测量分析,同时实现成本的降低。

本发明授权一种光斑分析系统在权利要求书中公布了:1.一种光斑分析系统,其特征在于,包括: 壳体100,所述壳体100设置有开口; 分析组件200,设置于所述壳体100内,用于光斑分析;所述分析组件200包括准直透镜210和用于将激光分解成反射光束和透射光束的楔形棱镜230,以及用于测量所述反射光束的测量相机240和用于吸收所述透射光束的尾光吸收器250;所述准直透镜210设置于所述开口处,所述楔形棱镜230设置于所述准直透镜210和所述测量相机240之间;其中一个所述分析组件200设置有聚焦透镜220,所述聚焦透镜220设置于所述楔形棱镜230和所述测量相机240之间; 其中,所述分析组件200包括有两组,两组所述分析组件200对称设置于所述壳体100上。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人珠海东辉半导体装备有限公司,其通讯地址为:519000 广东省珠海市香洲区唐家湾镇金园一路6号5栋1层;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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