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龙图腾网获悉湖南麓星光电科技有限公司申请的专利一种实时监测折射率的镀膜装置及镀膜方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117305796B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-31发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311256683.2，技术领域涉及：C23C14/54；该发明授权一种实时监测折射率的镀膜装置及镀膜方法是由刘永利;范鹏;姜海;刘俞含设计研发完成，并于2023-09-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种实时监测折射率的镀膜装置及镀膜方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种光学设备及镀膜方法，涉及光学设备技术领域。其中，光学设备包括机壳，机壳内设置有用于放置镀膜基片的工件盘，工件盘上均匀放置有镀膜基片以及陪镀片，还包括激光发射器、滤光片、起偏器、反射光组件、轰击组件、检偏器、光探测设备、数据分析处理设备和修正板。能够依据实时获取到的陪镀片膜层折射率而得到镀膜基片的膜层折射率，并且，数据分析处理设备在镀膜过程中依据所获得镀膜基片的膜层折射率而调节镀膜的沉积速率，并在镀膜过程中调整修正板的位置。镀制镜片过程中，即便多层膜的镀制需要频繁更换靶材，由于在镀膜过程中能实时监测镀膜材料的折射率，从而能够避免在镀膜过程中产生膜厚均匀性不容易控制的现象。

本发明授权一种实时监测折射率的镀膜装置及镀膜方法在权利要求书中公布了：1.一种实时监测折射率的镀膜装置，包括机壳，所述机壳内设置有用于放置镀膜基片的工件盘，所述工件盘上均匀放置有所述镀膜基片以及将任一所述镀膜基片作为监测的陪镀片，其特征在于，还包括： 激光发射器，设置在所述机壳的外部； 滤光片，与所述激光发射器光信号连接，所述滤光片设置在所述机壳的外部并且位于靠近所述机壳侧； 起偏器，与所述滤光片光信号连接，所述起偏器设置在所述机壳的外部并且位于远离所述激光发射器侧的所述滤光片的一侧； 反射光组件，设置在所述机壳的内部，并且分别与所述起偏器和所述陪镀片光信号连接； 轰击组件，设置在所述机壳内； 检偏器，设置在所述机壳的外部，并且与所述反射光组件光信号连接； 光探测设备，与所述检偏器光信号连接，所述光探测设备设置在所述机壳的外部并且位于远离所述机壳侧的所述检偏器的一侧； 数据分析处理设备，设置在所述机壳的外部，并且同时与所述光探测设备和所述轰击组件通信连接； 修正板，穿过所述机壳并且与所述机壳相连接； 所述反射光组件包括： 第一反射镜，分别与所述起偏器和所述陪镀片光信号连接； 第二反射镜，分别与所述陪镀片和所述检偏器光信号连接； 其中，所述第一反射镜的光轴垂直于所述第二反射镜的光轴； 所述激光发射器、所述滤光片和所述起偏器以及所述第一反射镜之间成一条直线，并且所述激光发射器、所述滤光片和所述起偏器以及所述第一反射镜之间形成第一穿透路径； 所述第二反射镜和所述检偏器以及所述光探测设备之间成一条直线，并且所述第二反射镜和所述检偏器以及所述光探测设备之间形成第二穿透路径； 所述轰击组件包括： 离子源，设置在所述机壳内，并且与所述数据分析处理设备通信连接； 靶材架，设置在所述机壳内； 靶材，设置在所述靶材架上，并且与所述离子源通过离子束流相连接。

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