中铜华中铜业有限公司臧经梅获国家专利权
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龙图腾网获悉中铜华中铜业有限公司申请的专利一种溅射靶材铜板及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117587373B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-31发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311599172.0，技术领域涉及：C23C14/35；该发明授权一种溅射靶材铜板及其制备方法是由臧经梅;曾丽卿;张武;王兴;赵健;郭建华;刘敏;张峻融;潘菲;赵智勇;李祖强;严真;张涛设计研发完成，并于2023-11-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种溅射靶材铜板及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种溅射靶材铜板的制备方法，包括以下步骤：将高纯无氧铜铸锭依次进行热轧、温轧，得溅射靶材铜板；所述热轧开轧温度为850～890℃，总变形量为84～87％；所述温轧开轧温度为220～250℃，总变形量为40～48％。本发明的制备方法仅通过热轧和温轧两步工艺，即得到内部组织致密、晶粒均匀、平均晶粒度10～30μm、维氏硬度80～100HV的溅射靶材铜板，操作简便、易于工业化。
本发明授权一种溅射靶材铜板及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种溅射靶材铜板的制备方法，其特征在于，包括以下步骤： 将高纯无氧铜铸锭依次进行热轧、温轧，得溅射靶材铜板； 所述热轧开轧温度为850~890℃，总变形量为84~87%； 所述温轧开轧温度为220~250℃，总变形量为40~48%； 所述热轧轧制道次为7~8道次，前两道次每道次的加工率为10~18%，轧制力为100~200t，后续道次每道次的加工率为21~34%，轧制力为350~450t； 所述温轧轧制道次为3~4道次，每道次的加工率为10~25%，且后一道次的加工率小于前一道次，轧制力为350~450t。
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