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长鑫科技集团股份有限公司陈军获国家专利权

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龙图腾网获悉长鑫科技集团股份有限公司申请的专利半导体结构及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119400777B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-31发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411538521.2,技术领域涉及:H10W20/43;该发明授权半导体结构及其制备方法是由陈军;林廉恭;李宗翰;王春阳设计研发完成,并于2024-10-30向国家知识产权局提交的专利申请。

半导体结构及其制备方法在说明书摘要公布了:本公开实施例涉及半导体领域,提供了一种半导体结构及其制备方法,包括:衬底,包括器件层、埋入式电源轨及硅通孔,硅通孔通过埋入式电源轨与器件层连接;电源网络层,设置于衬底上,电源网络层包括至少一层第一电源阵列和至少一层第二电源阵列,第一电源阵列通过硅通孔与埋入式电源轨连接;电容结构,设置于第一电源阵列和第二电源阵列之间,并通过电容结构的下电极和上电极分别与第一电源阵列和第二电源阵列连接。

本发明授权半导体结构及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种半导体结构,其特征在于,包括: 衬底,包括器件层、埋入式电源轨及硅通孔,所述衬底具有第一表面和第二表面,所述硅通孔贯穿所述衬底的所述第一表面和所述第二表面,所述硅通孔通过所述埋入式电源轨与所述器件层连接; 电源网络层,设置于所述衬底上,所述电源网络层包括至少一层第一电源阵列和至少一层第二电源阵列,所述第一电源阵列通过所述硅通孔与所述埋入式电源轨连接; 电容结构,设置于所述第一电源阵列和所述第二电源阵列之间,并通过所述电容结构的下电极和上电极分别与所述第一电源阵列和所述第二电源阵列连接; 所述第一电源阵列与所述第二电源阵列之间还设置有接触插塞,所述电容结构与所述接触插塞均设置于绝缘层内,所述绝缘层包括第一阻隔层、第一绝缘层、第二阻隔层和第二绝缘层,所述电容结构位于所述第二阻隔层下方。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人长鑫科技集团股份有限公司,其通讯地址为:230601 安徽省合肥市经济技术开发区空港工业园兴业大道388号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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