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龙图腾网获悉新毅东(北京)科技有限公司申请的专利光刻机内部温度控制系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119620560B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-31发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411959822.2，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权光刻机内部温度控制系统是由张琪;符友银;靳雪仪;陈钰思阳设计研发完成，并于2024-12-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本光刻机内部温度控制系统在说明书摘要公布了：提供了一种光刻机内部温度控制系统，包括：温度传感器，用于检测实际温度；一级温度控制系统，包括用于在第一温度范围内控制温度的一级温度控制器；以及，二级温度控制系统，包括用于在小于所述第一温度范围的第二温度范围内控制温度的二级温度控制器；其中，响应于所述实际温度与目标温度的差值小于或等于与所述第一温度范围对应的第一温度阈值且大于与所述第二温度范围对应的第二温度阈值，所述一级温度控制器工作；以及，响应于所述实际温度与所述目标温度的差值小于或等于与所述第二温度范围对应的第二温度阈值，所述二级温度控制器工作。这样，提高了温度控制的稳定性。

本发明授权光刻机内部温度控制系统在权利要求书中公布了：1.一种光刻机内部温度控制系统，包括： 温度传感器，用于检测实际温度； 一级温度控制系统，包括用于在第一温度范围内控制温度的一级温度控制器；以及 二级温度控制系统，包括用于在小于所述第一温度范围的第二温度范围内控制温度的二级温度控制器； 其中，响应于所述实际温度与目标温度的差值小于或等于与所述第一温度范围对应的第一温度阈值且大于与所述第二温度范围对应的第二温度阈值，所述一级温度控制器工作；以及 响应于所述实际温度与所述目标温度的差值小于或等于与所述第二温度范围对应的第二温度阈值，所述二级温度控制器工作； 其中，所述温度传感器包括与所述一级温度控制系统对应的一级温度传感器，和与所述二级温度控制系统对应的二级温度传感器； 在第一层级控制中，所述一级温度传感器检测到的实际温度作为一级前馈信号发送给所述二级温度控制器，所述二级温度控制器根据所述二级温度传感器检测到的实际温度和所述一级前馈信号进行温度控制； 在第二层级控制中，所述二级温度传感器检测到的实际温度作为二级反馈信号发送给所述一级温度控制器，所述一级温度控制器根据所述二级反馈信号进行温度控制。

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