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龙图腾网获悉中山市光圣半导体科技有限公司申请的专利晶圆检测UV光源的自适应光谱调整方法、装置及设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119815639B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-31发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510295283.5，技术领域涉及：H05B47/105；该发明授权晶圆检测UV光源的自适应光谱调整方法、装置及设备是由夏正浩;林威;张康;罗明浩设计研发完成，并于2025-03-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆检测UV光源的自适应光谱调整方法、装置及设备在说明书摘要公布了：本申请提供了一种晶圆检测UV光源的自适应光谱调整方法、装置及设备，该方法包括：获取对目标晶圆进行初步光谱检测的第一光谱数据；对第一光谱数据进行变分模态分解处理，确定第一光谱数据的光谱特性参数；通过精细化复合多尺度加权多维特征熵处理光谱特性参数，确定光谱特性参数的光谱特征向量；通过分析光谱特征向量确定光谱特征与晶圆材料特性之间的映射关系；根据映射关系对UV光源光谱进行自适应调整。通过本申请方案的实施，根据光谱特征与晶圆材料特性之间的映射关系对UV光源光谱进行自适应调整，能够确保光源的光谱特性与晶圆检测需求相匹配，避免不必要的光谱冗余或缺失，提高光谱利用率，缩短检测时间，显著提升了检测效率。

本发明授权晶圆检测UV光源的自适应光谱调整方法、装置及设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆检测UV光源的自适应光谱调整方法，其特征在于，包括： 获取对目标晶圆进行初步光谱检测的第一光谱数据； 对所述第一光谱数据进行变分模态分解处理，确定所述第一光谱数据的光谱特性参数； 通过精细化复合多尺度加权多维特征熵处理所述光谱特性参数，确定所述光谱特性参数的光谱特征向量，包括：通过确定不同尺度下所述光谱特性参数的熵值获取所述光谱特性参数对应的多尺度光谱特征；通过对所述多尺度光谱特征进行加权处理，获取所述光谱特性参数对应的加权光谱特征；通过对所述加权光谱特征进行特征提取，确定所述光谱特性参数的光谱特征向量； 通过分析所述光谱特征向量确定光谱特征与晶圆材料特性之间的映射关系，包括：通过对所述光谱特征向量进行聚类分析生成光谱特征簇；其中，所述光谱特征簇为同类光谱特征的晶圆材料的聚类；对所述光谱特征簇对应的光谱特征向量进行统计分析，确定所述光谱特征簇对应的晶圆材料特性；根据所述光谱特征簇和对应的晶圆材料特性，建立光谱特征与晶圆材料特性之间的映射关系； 根据所述映射关系对UV光源的光谱进行自适应调整。

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