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江西高瑞光电股份有限公司文永富获国家专利权

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龙图腾网获悉江西高瑞光电股份有限公司申请的专利一种白光干涉扫描区间快速自动定位系统及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119935016B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-31发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510204402.1,技术领域涉及:G01B11/24;该发明授权一种白光干涉扫描区间快速自动定位系统及方法是由文永富;余嘉静设计研发完成,并于2025-02-24向国家知识产权局提交的专利申请。

一种白光干涉扫描区间快速自动定位系统及方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种白光干涉扫描区间快速自动定位系统及方法,包括照明单元、差动共焦定位单元、白光干涉数据采集单元和电动位移控制单元,通过将被测样品所需观察的目标区域置于相机的视场内;对被测样品进行粗定位和扫描获取第一个绝对零点位置作为上表面以及第二个绝对零点位置作为下表面,并对应记录光强值;驱动电动角位台完成倾斜定位;确定干涉条纹图片的干涉区域长度,根据第一个绝对零点位置、第二个绝对零点位置和干涉区域长度令压电陶瓷沿z轴移动进行变速扫描,并通过倾斜定位后的相机实时采集干涉条纹图片;筛选出具有干涉条纹的干涉条纹图片完成扫描区间定位以用于进行三维重建,有助于提高被测样品的测量精度和效率。

本发明授权一种白光干涉扫描区间快速自动定位系统及方法在权利要求书中公布了:1.一种白光干涉扫描区间快速自动定位系统,其特征在于:所述白光干涉扫描区间快速自动定位系统包括: 照明单元17,包括沿第一光路方向依次设置的低相干光源1、第一分束镜2和第一透镜组3,所述第一分束镜2用于将所述低相干光源1发出的光线经所述第一透镜组3透射至第三分束镜11; 差动共焦定位单元18,包括第二分束镜4、后焦探测器6和前焦探测器8,所述后焦探测器6和前焦探测器8分别位于所述第二分束镜4的相邻两侧,所述第一分束镜2用于将所述第三分束镜11反射回的光线经所述第二分束镜4分别透射至所述后焦探测器6以及反射至所述前焦探测器8; 白光干涉数据采集单元19,包括沿第二光路方向依次设置的相机9、第二透镜组10、第三分束镜11、压电陶瓷12和干涉物镜13,所述第二光路方向与第一光路方向相互垂直,所述第三分束镜11用于将接收到的光线反射至所述压电陶瓷12并透过所述干涉物镜13照射至被测样品14,所述被测样品14反射回的光线再依次透过所述干涉物镜13、压电陶瓷12到达所述第三分束镜11,并由所述第三分束镜11分别透射后经所述第二透镜组10到达所述相机9实现干涉条纹图片采集以及反射后经所述第一透镜组3到达所述第一分束镜2; 电动位移控制单元20,包括电动角位台15和电动三维平台16,所述电动角位台15用于驱动所述被测样品14进行绕x轴、y轴和z轴的转动角度调节,所述电动三维平台16用于驱动所述电动角位台15进行x轴、y轴和z轴的移动。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人江西高瑞光电股份有限公司,其通讯地址为:334000 江西省上饶市广信区兴业大道19号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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