中科宝溢视觉科技(江苏)有限公司刘太龙获国家专利权
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龙图腾网获悉中科宝溢视觉科技(江苏)有限公司申请的专利一种多层光学膜及其制备方法、成像装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119980164B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-31发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510212006.3,技术领域涉及:C23C14/35;该发明授权一种多层光学膜及其制备方法、成像装置是由刘太龙;张保平;纪诺设计研发完成,并于2025-02-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种多层光学膜及其制备方法、成像装置在说明书摘要公布了:本发明公开了一种多层光学膜及其制备方法、成像装置,包括提供光学玻璃基底,在光学玻璃基底上沉积抗反射层,使用分光膜设计算法对抗反射层进行图案设计,并将设计的分光图案转移至抗反射层上;在抗反射层上沉积高损伤阈值保护层,在高损伤阈值保护层上沉积热管理层,通过蒸发方式在热管理层上沉积反射层,形成多层膜结构,对形成的多层膜结构进行退火处理,设置退火条件为预设温度,以提高多层膜结构之间的界面结合力,获得多层光学膜;通过整体制备流程的优化设计,并兼顾了抗激光损伤能力,热管理层提供热稳定性,反射层提高光学系统的效率,从而制造出高性能、多功能的多层光学膜,适应激光显示系统的高要求。
本发明授权一种多层光学膜及其制备方法、成像装置在权利要求书中公布了:1.一种多层光学膜的制备方法,其特征在于,包括: 步骤S1,提供光学玻璃基底,通过反应性磁控溅射技术在所述光学玻璃基底上沉积抗反射层,所述抗反射层采用氟化镁或二氧化硅材料,形成具有高透明度的抗反射层; 步骤S2,使用分光膜设计算法对所述抗反射层进行图案设计,并将设计的分光图案转移至所述抗反射层上; 步骤S3,在所述抗反射层上沉积高损伤阈值保护层,所述高损伤阈值保护层采用氮化硅或氮化铝材料; 步骤S4,在所述高损伤阈值保护层上沉积热管理层,所述热管理层采用具有高热导率的金属氧化物,提升薄膜的热稳定性; 步骤S5,通过蒸发方式在所述热管理层上沉积反射层,形成多层膜结构,所述反射层采用铝或银,提供全反射作用; 步骤S6,对形成的多层膜结构进行退火处理,设置退火条件为预设温度,以提高多层膜结构之间的界面结合力,获得多层光学膜。
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