徐基福获国家专利权
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龙图腾网获悉徐基福申请的专利探头和包含其的基板检查装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120142713B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-31发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510139524.7,技术领域涉及:G01R1/067;该发明授权探头和包含其的基板检查装置是由徐基福设计研发完成,并于2025-02-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本探头和包含其的基板检查装置在说明书摘要公布了:本发明提供一种探头,其包含:测试板,其与半导体基板接触以测试上述半导体基板的可靠性;负载推进器,其具备设置在上述测试板上且具有贯穿区域的框架、在上述贯穿区域内从上述框架的内侧面延伸并沿圆周方向彼此间隔配置的多个弹性结构体、通过上述多个弹性结构体与上述框架连接且使上述测试板朝向上述半导体基板突出的加载翼;以及支撑张紧器,其支撑上述负载推进器。
本发明授权探头和包含其的基板检查装置在权利要求书中公布了:1.一种探头,其包含: 测试板,其与半导体基板接触以测试所述半导体基板的可靠性; 负载推进器,其具有设置在所述测试板上且具有贯穿区域的框架、在所述贯穿区域内从所述框架的内侧面延伸并沿圆周方向彼此间隔配置的多个弹性结构体、通过所述多个弹性结构体与所述框架连接且使所述测试板朝向所述半导体基板突出的加载翼;以及 支撑张紧器,其支撑所述负载推进器, 所述多个弹性结构体各自包含多个第一延伸部和多个第二延伸部, 所述多个第一延伸部在垂直方向上延伸,且在与所述多个弹性结构体各自延伸的方向正交的水平方向上具有第一宽幅, 所述多个第二延伸部延伸以连接所述多个第一延伸部之间,且在所述水平方向上具有比所述第一宽幅小的第二宽幅。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人徐基福,其通讯地址为:韩国首尔特别市冠岳区奉天路472号合作社公寓915号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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