江苏联瑞新材料股份有限公司阮建军获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏联瑞新材料股份有限公司申请的专利一种超细高纯球形硅微粉粒度分布调控系统与方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120157141B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-31发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510408615.6,技术领域涉及:C01B33/18;该发明授权一种超细高纯球形硅微粉粒度分布调控系统与方法是由阮建军;张建平;冯宝琦;顾东进;王红斌;周晓兵;周紫文设计研发完成,并于2025-04-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种超细高纯球形硅微粉粒度分布调控系统与方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种超细高纯球形硅微粉粒度分布调控系统与方法,属于球形硅微粉技术领域,所述系统包括:工艺参数采集模块,配置为采集超细高纯球形硅微粉制备工艺实时数据;工艺参数处理模块,配置为对采集的超细高纯球形硅微粉制备工艺实时数据进行处理;粒度分布调控模块,配置为构建超细高纯球形硅微粉粒度分布预测模型,预测超细高纯球形硅微粉粒度分布情况,并对超细高纯球形硅微粉粒度分布进行闭环调控。本发明解决现有的不能对超细高纯球形硅微粉粒度分布进行有效地调控,不能较好地满足使用需求的问题。本发明可对超细高纯球形硅微粉粒度分布进行有效地调控,提升制备的超细高纯球形硅微粉使用效果,可较好地满足使用需求。
本发明授权一种超细高纯球形硅微粉粒度分布调控系统与方法在权利要求书中公布了:1.一种超细高纯球形硅微粉粒度分布调控系统,其特征在于,包括: 工艺参数采集模块,配置为采集超细高纯球形硅微粉制备工艺实时数据; 工艺参数处理模块,配置为对采集的超细高纯球形硅微粉制备工艺实时数据进行处理,确定超细高纯球形硅微粉制备工艺特征数据; 粒度分布调控模块,配置为构建超细高纯球形硅微粉粒度分布预测模型,对超细高纯球形硅微粉制备工艺特征数据进行分析,预测超细高纯球形硅微粉粒度分布情况,并对超细高纯球形硅微粉粒度分布进行闭环调控; 对超细高纯球形硅微粉制备工艺实时数据进行调整,包括: 当超细高纯球形硅微粉粒度分布预测结果不在超细高纯球形硅微粉粒度分布阈值范围内时,提取超细高纯球形硅微粉粒度分布预测结果与超细高纯球形硅微粉粒度分布阈值范围之间的偏差值; 将所述偏差值与超细高纯球形硅微粉粒度分布阈值范围跨度进行比值处理,获取偏差比例值; 按照初始工艺实时数据调节梯度对超细高纯球形硅微粉制备工艺实时数据进行调整; 提取每次调整后的超细高纯球形硅微粉粒度分布预测结果与超细高纯球形硅微粉粒度分布阈值范围之间的偏差值; 将每次调整后的超细高纯球形硅微粉粒度分布预测结果与超细高纯球形硅微粉粒度分布阈值范围之间的偏差值和超细高纯球形硅微粉粒度分布阈值范围跨度进行比值处理,获取动态偏差比例值; 将所述动态偏差比例值与偏差比例值进行比较; 当所述动态偏差比例值超过偏差比例值时对工艺实时数据调节梯度进行调整,包括: 当所述动态偏差比例值超过偏差比例值时,获取动态偏差比例值与偏差比例值之间的比例偏差值; 调取当前超细高纯球形硅微粉制备过程中的实时反应温度; 将所述当前超细高纯球形硅微粉制备过程中的实时反应温度与参考温度进行比较,获取温度偏差值; 调取当前超细高纯球形硅微粉制备过程中的实时反应腔气体压力; 将所述当前超细高纯球形硅微粉制备过程中的实时反应腔气体压力与参考气体压力进行比较,获取气体压力偏差值; 对所述温度偏差值和气体压力偏差值进行标准化处理,获取标准化处理后的温度偏差值和气体压力偏差值; 利用标准化处理后的温度偏差值和气体压力偏差值结合动态偏差比例值与偏差比例值之间的比例偏差值获取梯度调节系数; 其中,所述梯度调节系数通过如下公式获取: ; 其中,δ表示梯度调节系数;Pt表示标准化处理后的温度偏差值;Pa表示标准化处理后的气体压力偏差值;B表示动态偏差比例值与偏差比例值之间的比例偏差值;D表示动态偏差比例值; 利用所述梯度调节系数对工艺实时数据调节梯度进行调整,其中,调整后的工艺实时数据调节梯度通过如下公式获取: ; 其中,Gt表示调整后的工艺实时数据调节梯度;G0表示调整前的工艺实时数据调节梯度;δ表示梯度调节系数;Db表示动态偏差比例值的标准差;e表示预设的最小系数,防止动态偏差比例值的标准差为0时无法进行有效的梯度调节。
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