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龙图腾网获悉上海集迦电子科技有限公司申请的专利一种用于晶圆的高效镀膜设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121250313B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-31发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511813717.2，技术领域涉及：C23C14/24；该发明授权一种用于晶圆的高效镀膜设备是由崔维设计研发完成，并于2025-12-04向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于晶圆的高效镀膜设备在说明书摘要公布了：本发明涉及晶圆镀膜设备技术领域，主要涉及一种用于晶圆的高效镀膜设备，包括用于晶圆安放的伞架，所述伞架上等角度设置有若干个平面，且平面上开设有用于晶圆摆放的凹槽，还包括用于晶圆安装的摆放架，所述摆放架上开设有与凹槽相对应的卡槽，所述伞架上开设有对齐孔，且所述摆放架上固定有与所述对齐孔相适配的对接柱，以及转动安装于摆放架上的拿持架，所述摆放架上固定有弧形轨板，本发明优化传统的晶圆与伞架之间的安装方式，利用设计的摆放架以及摆放架上的拿持架，人员可以很便捷地将伞架上一个平面上所有的晶圆进行拆卸与安放，利用设计的对接部和定位件实现快捷安装，从而提高安装效率。

本发明授权一种用于晶圆的高效镀膜设备在权利要求书中公布了：1.一种用于晶圆的高效镀膜设备，包括： 用于晶圆安放的伞架1，所述伞架1上等角度设置有若干个平面，且平面上开设有用于晶圆摆放的凹槽2； 其特征在于，还包括： 用于晶圆安装的摆放架3，所述摆放架3上开设有与凹槽2相对应的卡槽4，所述伞架1上开设有对齐孔5，且所述摆放架3上固定有与所述对齐孔5相适配的对接柱6，以及； 转动安装于摆放架3上的拿持架9，所述摆放架3上固定有弧形轨板7，且所述弧形轨板7上开设有弧形槽8，所述拿持架9的尾端安装有与所述弧形槽8相适配的定位件10，所述拿持架9上安装有用于摆放架3与伞架1对接的对接部11； 所述伞架1上固定有相抵板12，且所述相抵板12与所述摆放架3外端相适配； 所述拿持架9包括与所述摆放架3转动对接的转动座13，所述转动座13上滑动安插有插杆14，且所述插杆14上滑动安插有摆动座15，所述对接部11安装于插杆14上，且所述定位件10安装于摆动座15上； 所述定位件10包括滑动安插于摆动座15上的定位杆16，所述定位杆16上固定有与所述摆动座15上相抵的端板17，且所述定位杆16的底部与所述弧形槽8相适配，所述定位杆16外侧固定有与所述端板17和摆动座15相固定的挤压弹簧18，所述端板17外端固定有与所述插杆14相适配的联动件19； 所述对接部11包括固定在插杆14上的握把20，所述握把20上固定有连接板，且连接板上固定有对接杆21，所述伞架1上固定有与所述对接杆21相适配的对接筒22，所述插杆14外侧套有与所述握把20和转动座13相抵的推开弹簧23； 所述联动件19包括固定在插杆14外端的联动端24，所述端板17外端固定有与所述联动端24相适配的斜块25； 所述弧形槽8的两端开设有与所述定位杆16相适配的定位孔26。

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