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龙图腾网获悉上海集迦电子科技有限公司申请的专利一种可视化晶圆识别探针台获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121254049B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-31发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511822085.6，技术领域涉及：G01R31/28；该发明授权一种可视化晶圆识别探针台是由崔维设计研发完成，并于2025-12-05向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种可视化晶圆识别探针台在说明书摘要公布了：本发明涉及晶圆测试技术领域，公开了一种可视化晶圆识别探针台，包括加工台、探针卡、承载台组件和观测组件；探针卡选择性设置在加工台上；探针卡包括四组探针阵列组件；承载台组件用于带动晶圆在空间内移动，以选择性和探针卡配合；观测组件包括驱动组件和四组视觉监测组件，四组视觉监测组件与四组探针阵列组件一一对应，驱动组件用于驱动四组视觉监测组件选择性对对应的探针阵列组件进行监测；视觉监测组件包括摄像头和调节组件，调节组件用于调节摄像头的角度，以对探针阵列组件中每个探针本体进行监测。本发明可以更加准确地观测探针本体尖端的情况，从而可以选择对探针本体的磨损量进行补偿，或者选择更换探针本体或探针卡。

本发明授权一种可视化晶圆识别探针台在权利要求书中公布了：1.一种可视化晶圆识别探针台，其特征在于，包括： 加工台1，其内部开设有空腔一11，且其顶部开设有安装孔一； 探针卡2，所述探针卡2选择性设置在所述安装孔一处，所述探针卡2包括：四组探针阵列组件23； 承载台组件3，其设置在所述空腔一11内，用于带动晶圆在空腔一11内移动，以选择性和所述探针卡2配合；所述承载台组件3包括：承载盘32和多个限位柱33； 观测组件4，其设置在所述加工台1上，其包括：驱动组件41和四组视觉监测组件42，四组视觉监测组件42与四组所述探针阵列组件23一一对应，所述驱动组件41用于驱动四组视觉监测组件42在竖直方向上移动，以使视觉监测组件42选择性对对应的探针阵列组件23进行监测； 视觉监测组件42包括：摄像头421和调节组件422，所述调节组件422包括：驱动杆4221，所述调节组件422用于调节摄像头421的角度，以对探针阵列组件23中每个探针本体241进行监测； 所述视觉监测组件42还包括：四个照明灯一423和多个照明灯二424，四个照明灯一423与四个所述驱动杆4221一一对应，所述照明灯一423设置在对应所述驱动杆4221上并靠近摄像头421设置，多个所述照明灯二424关于所述承载盘的中心环形阵列分布，且所述照明灯二424设置在所述限位柱33的外侧，照明灯一423和照明灯二424分别设置在对应探针阵列组件23的两侧，利用照明灯一423和照明灯二424的配合，更加全面的对探针本体241的尖端处以及晶圆表面进行照明，从而便于摄像头421更好地对探针本体241的尖端处进行观测； 所述探针卡2还包括：电路板21和环形结构的安装架22，所述电路板21上开设有安装孔二211，四组所述探针阵列组件23关于安装架22的中心环形阵列设置在安装架22上； 所述探针阵列组件23包括：多个沿直线间隔分布的探针组件24； 所述探针组件24包括：探针本体241、连接座242、压阻传感器243和压电陶瓷促动器244，所述压电陶瓷促动器244连接在安装架22上，且其伸缩端与连接座242连接，探针本体241的一端与连接座242连接，压电陶瓷促动器244用于推动探针本体241移动，压阻传感器243设置在探针本体241上，用于监测探针本体241的压力； 所述连接座242内部开设有安装槽一2421，所述探针本体241的一端设置在所述安装槽一2421内，且所述连接座242朝向所述探针本体241的一侧开设有与所述安装槽一2421连通的导向槽2422，所述探针本体241上设置有导向板2411，所述导向板2411选择性与所述导向槽2422滑动连接，在所述探针本体241的轴向上，所述导向板2411与所述导向槽2422的底部之间设置有空隙，所述空隙内填入粘接剂； 所述探针本体241靠近针尖处开设有安装槽二2412，所述探针本体241上还开设有线槽2413，所述线槽2413的两端分别与所述安装槽二2412和所述安装槽一2421连通，所述压阻传感器243设置在所述安装槽二2412内，且所述安装槽二2412和所述线槽2413均由粘接剂密封； 当压阻传感器243监测到某一个探针本体241的尖端压力发生异样变化时，利用视觉监测组件42对该探针本体241的尖端进行观测，查看探针本体241尖端的具体情况。

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