买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉山东大学申请的专利一种连续波深紫外激光器及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121566259B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-31发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202610076501.0，技术领域涉及：H01S3/0933；该发明授权一种连续波深紫外激光器及方法是由赵智刚;孙松松;刘兆军设计研发完成，并于2026-01-21向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种连续波深紫外激光器及方法在说明书摘要公布了：本发明属于激光器技术领域。提出了一种连续波深紫外激光器及方法，包括：单频种子激光器、多级光纤放大模块、单程二次谐波转换模块、谐振增强四次谐波转换模块和光束整型模块，单频种子激光器用于输出基频激光，多级光纤放大模块用于对基频激光进行功率放大，单程二次谐波转换模块直接采用周期极化非线性晶体将放大的基频激光转换为二次谐波激光，谐振增强四次谐波转换模块用于通过谐振腔将二次谐波激光转换为深紫外激光；光束整型模块用于将深紫外激光的畸形光斑整形成高斯光斑。本发明在保证连续波深紫外激光高效输出的前提下，减少了谐振增强腔的使用数量，降低了系统复杂度和调试难度。

本发明授权一种连续波深紫外激光器及方法在权利要求书中公布了：1.一种连续波深紫外激光器，其特征在于， 包括：单频种子激光器、多级光纤放大模块、单程二次谐波转换模块、谐振增强四次谐波转换模块和光束整型模块，所述单频种子激光器用于输出基频激光，所述多级光纤放大模块用于对所述基频激光进行功率放大，所述单程二次谐波转换模块直接采用周期极化非线性晶体将放大的基频激光转换为二次谐波激光，所述谐振增强四次谐波转换模块用于通过谐振腔将所述二次谐波激光转换为深紫外激光； 所述光束整型模块用于将深紫外激光的畸形光斑整形成高斯光斑，所述光束整型模块包括沿光路依次布置的第二准直透镜、凹柱透镜、凸柱透镜和狭缝，所述第二准直透镜用于对未走离方向的光斑进行准直，所述凹柱透镜用于对走离方向的光斑进行相位补充使其发散，未走离方向和走离方向的光斑尺寸相等时，所述凸柱透镜对走离光斑进行准直，所述狭缝用于屏蔽掉边缘的光斑； 所述谐振增强四次谐波转换模块采用领结型谐振腔，领结型谐振腔内放置非线性晶体实现四次谐波转换； 所述谐振增强四次谐波转换模块，包括：非线性晶体、压电陶瓷、输入平镜、高反平镜、凹镜、双色凹镜、四分之一波片、偏振分光棱镜、光电探测器、减法器、PI控制器、高压驱动器和光束采样器； 所述输入平镜、高反平镜、凹镜和双色凹镜构成所述领结型谐振腔，所述非线性晶体布置在所述凹镜与所述双色凹镜之间的光路上，单程二次谐波转换模块输出的532nm二次谐波激光经输入平镜透射进入领结型谐振腔，532nm二次谐波激光依次经所述高反平镜反射、所述凹镜反射后进入非线性晶体，非线性晶体在532nm二次谐波激光的作用下进行非线性倍频； 部分532nm二次谐波激光转换为266nm深紫外四次谐波激光，非线性晶体出射532nm二次谐波激光与266nm深紫外四次谐波激光的混合光束，所述混合光束中的266nm深紫外四次谐波激光通过双色凹镜输出领结型谐振腔，532nm二次谐波激光被反射至输入平镜，部分532nm二次谐波激光反射至高反平镜，部分532nm二次谐波激光透射至光束采样器； 光束采样器将532nm二次谐波激光经四分之一波片传输至偏振分光棱镜，偏振分光棱镜将接收到的光分成两束正交的线偏振光，分别射向两个对应的光电探测器，光电探测器将光强信号转换为电信号，两路电信号同步传输至减法器作差，差值被输入至PI控制器，PI控制器经比例-积分算法放大和校正，经高压驱动器输出控制信号至压电陶瓷； 所述压电陶瓷与高反平镜固定连接，通过压电陶瓷的伸缩形变带动高反平镜的平移，修正领结型谐振腔的腔长，直至误差信号回归零，谐振腔的腔长恢复共振状态，实现稳定锁定。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人山东大学，其通讯地址为：266237 山东省青岛市即墨区滨海路72号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。