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龙图腾网获悉广州三义激光科技有限公司申请的专利一种超表面微透镜阵列高效剥离金刚石的方法及装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121573675B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-31发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202610106717.7，技术领域涉及：C01B32/28；该发明授权一种超表面微透镜阵列高效剥离金刚石的方法及装置是由陈聪;欧阳紫晴;李贵林设计研发完成，并于2026-01-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种超表面微透镜阵列高效剥离金刚石的方法及装置在说明书摘要公布了：一种超表面微透镜阵列高效剥离金刚石的方法及装置，包括如下步骤：将微透镜阵列贴附于待剥离金刚石的表面上，微透镜阵列远离金刚石表面的一面上设置有若干球冠状微凸起，形成微凸透镜阵列；采用低能量激光束辐照所述微透镜阵列，借助微透镜阵列上球冠状微凸起的聚焦作用，低能量激光束在金刚石内部形成若干改质点，在同一区域重复间隔辐照多次，直至形成均匀改质层；将微透镜阵列从金刚石表面上分离开，采用高能量激光束聚焦于改质层进行扫描，诱导裂纹沿111晶面扩展，形成剥离层；利用超声或机械的方法将金刚石沿着剥离层进行剥离。本发明可实现厚度≥3mm金刚石的高效低损剥离，加工速度快，可直接用于器件制造，并具有成本优势。

本发明授权一种超表面微透镜阵列高效剥离金刚石的方法及装置在权利要求书中公布了：1.一种超表面微透镜阵列高效剥离金刚石的方法，其特征在于，包括如下步骤： 将微透镜阵列置于待剥离金刚石的表面上，排出微透镜阵列与金刚石表面之间的空气，使微透镜阵列紧贴金刚石表面，所述微透镜阵列远离金刚石表面的一面上设置有若干球冠状微凸起，形成微凸透镜阵列； 采用低能量激光束辐照所述微透镜阵列，借助微透镜阵列上球冠状微凸起的聚焦作用，低能量激光束在金刚石内的设定深度形成聚焦点阵，使金刚石内部形成若干改质点，在同一区域重复间隔辐照多次，直至金刚石内部形成均匀改质层； 将微透镜阵列从金刚石表面上分离开，采用高能量激光束照射金刚石表面，使高能量激光束聚焦于改质层进行扫描，诱导裂纹沿111晶面扩展，形成剥离层； 利用机械的方法将金刚石沿着剥离层进行剥离； 所述高能量激光束照射的参数为：高能量激光为连续激光，激光波长为300-800nm，功率密度为0.5×104-5×104Wcm2，扫描速度为50-200mms，扫描方向与晶向夹角≤15°； 所述低能量激光束辐照的参数为：低能量激光为纳秒激光，脉宽为10-30ps，波长为400-1200nm，单脉冲能量为0.2-1.0Jcm2；低能量激光束在同一区域重复间隔照射的次数为3-5次，间隔时间为5-15ms； 所述微透镜阵列上球冠状微凸起的直径为1.5-3μm，深宽比为0.6-0.8，球冠状微凸起的阵列间距为2-20μm。

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