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龙图腾网获悉杭州中安电子股份有限公司申请的专利一种用于晶圆老化测试的夹具获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224066936U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-31发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520031279.3，技术领域涉及：G01R31/28；该实用新型一种用于晶圆老化测试的夹具是由周玉军;林泽涛;卜建明;贺庭玉;廖剑;柴俊标;余亮;卜予城设计研发完成，并于2025-01-07向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于晶圆老化测试的夹具在说明书摘要公布了：一种用于晶圆老化测试的夹具，涉及晶圆测试设备技术领域，夹具包括夹具探针板卡组件、夹具卡盘组件和加热吸盘组件。夹具探针板卡组件包括板卡托板、板卡转接板、探针固定板和螺栓组件，夹具卡盘组件包括卡盘底座，加热吸盘组件从上到下依次包括加热吸盘、加热吸盘垫片、加热片和加热片托板。本实用新型的设备体积小，使得占用空间小，另外设备结构模块化设计，便于测试人员操作，提高测试效率，实现了大批量测试。

本实用新型一种用于晶圆老化测试的夹具在权利要求书中公布了：1.一种用于晶圆老化测试的夹具，其特征在于：夹具100包括夹具探针板卡组件110、夹具卡盘组件120和加热吸盘组件130； 所述夹具探针板卡组件110包括板卡托板111、固定在板卡托板111顶面的板卡转接板112、固定在板卡转接板112底面的探针固定板113和一定数量的螺栓组件114，板卡托板111中间设有圆孔，探针固定板113位于圆孔内且其上设有栅极元极探针区113.1，栅极元极探针区113.1设有呈阵列分布的栅极元极探针，栅极元极探针区113.1侧边设有共极探针113.2，板卡转接板112顶面设有转接区112.1，转接区112.1设有呈阵列分布的转接触点； 所述板卡托板111两侧设有翼板111.3，翼板111.3上设有条形孔A111.4，翼板111.3前后设有定位凹槽111.5； 所述夹具卡盘组件120包括卡盘底座121，卡盘底座121顶面设有空腔121.1，侧面设有充气接头122、抽气接头座123和内线转接板124，充气接头122与空腔121.1连通，卡盘底座121上设有抽气通道A121.2，抽气通道A121.2外端连通抽气接头座123，内端位于空腔121.1底部中间且设有绝缘密封垫块125，空腔121.1内设有与内线转接板124连接的内线126，所述卡盘底座121底面设有夹具限位槽121.4； 所述加热吸盘组件130用于对晶圆的固定及加热。

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