无锡影速半导体科技有限公司李显杰获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡影速半导体科技有限公司申请的专利曝光装置及曝光设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224067131U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-31发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520661245.2，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型曝光装置及曝光设备是由李显杰;周俊晨;吴长江;王怀;刘世林;何先福设计研发完成，并于2025-04-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本曝光装置及曝光设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及曝光设备技术领域，公开一种曝光装置及曝光设备。其中曝光装置包括工件台、承载模块和曝光模块，承载模块用于承载待曝光零件，承载模块沿第一方向滑动设置于工件台；曝光模块包括至少一个第一曝光单元和至少一个第二曝光单元，第一曝光单元包括一个曝光头，第二曝光单元包括相对固定的至少两个曝光头，曝光模块还包括设置于工件台的至少一个支撑件，支撑件上沿第二方向滑动设置有至少一个第一曝光单元和或至少一个第二曝光单元，第二方向与第一方向呈夹角设置。本实用新型的曝光装置及曝光设备，既能实现整体曝光，又能实现边缘曝光，结构紧凑，成本低，同时曝光精度高，曝光效率高，另外，适用场景更多。
本实用新型曝光装置及曝光设备在权利要求书中公布了：1.曝光装置，其特征在于，包括： 工件台100； 承载模块200，用于承载待曝光零件1，所述承载模块200沿第一方向滑动设置于所述工件台100； 曝光模块300，包括至少一个第一曝光单元310和至少一个第二曝光单元320，所述第一曝光单元310包括一个曝光头301，所述第二曝光单元320包括相对固定的至少两个曝光头301，所述曝光模块300还包括设置于所述工件台100的至少一个支撑件330，所述支撑件330上沿第二方向滑动设置有至少一个所述第一曝光单元310和或至少一个所述第二曝光单元320，所述第二方向与所述第一方向呈夹角设置。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人无锡影速半导体科技有限公司，其通讯地址为：214000 江苏省无锡市新吴区菱湖大道200号中国传感网国际创新园F3栋1-3层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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