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龙图腾网获悉上海芯之翼半导体材料有限公司申请的专利辅助密封圈安装的装配工装及卡盘系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117182810B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311246869.X，技术领域涉及：B25B11/00；该发明授权辅助密封圈安装的装配工装及卡盘系统是由陶龙海;夏春风设计研发完成，并于2023-09-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本辅助密封圈安装的装配工装及卡盘系统在说明书摘要公布了：本发明提供了一种辅助密封圈安装的装配工装及卡盘系统，涉及半导体设备技术领域，包括与卡盘匹配设置的主体部、设于所述主体部上的N个安装部，N为正整数，以及支撑部；所述支撑部设于所述安装部，且所述支撑部的数量设置有M个，M为正整数；当密封圈套设在所述支撑部外时，所述支撑部从内侧对所述密封圈起支撑作用，使相邻两个所述支撑部之间的所述密封圈的轴向与所述卡盘上的卡槽的径向相互垂直，以在按压安装时，使相邻两个所述支撑部之间的所述密封圈上边缘和下边缘同时进入到所述卡槽内；本发明中通过调整密封圈与卡槽的相对位置，从而确保在按压安装时密封圈的上边缘和下边缘能够同时进入到卡槽内，实现密封圈的顺利安装。

本发明授权辅助密封圈安装的装配工装及卡盘系统在权利要求书中公布了：1.一种辅助密封圈安装的装配工装，其特征在于，包括与卡盘匹配设置的主体部、设于所述主体部上的N个安装部，N为正整数，以及支撑部；N个所述安装部围绕所述主体部的中心呈环状排布，N≥2 所述支撑部设于所述安装部，且所述支撑部的数量设置有M个，M为正整数； 当密封圈套设在所述支撑部外时，所述支撑部从内侧对所述密封圈起支撑作用，使相邻两个所述支撑部之间的所述密封圈的轴向与所述卡盘上的卡槽的径向相互垂直，以在按压安装时，使相邻两个所述支撑部之间的所述密封圈上边缘和下边缘同时进入到所述卡槽内； 还包括设于所述支撑部上的定位部； 还包括滑动部和调节部，其中： 所述滑动部设于所述支撑部，所述定位部滑动设于所述滑动部； 所述调节部设于所述支撑部，并与所述定位部连接，所述调节部用于调节所述定位部在所述滑动部内运动； 所述调节部包括与所述支撑部连接的固定板，在所述支撑部安装到所述安装部以后，所述固定板的下端与所述主体部的上端面相抵接；所述固定板沿着竖直方向开设有螺纹孔，所述螺纹孔内螺纹转动设置有调节螺栓；所述调节螺栓外螺纹套设有螺母，所述螺母的外侧壁固定设置于L形连接杆的一端，所述L形连接杆的另一端连接在所述定位部的上端面上。

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