之江实验室王盼获国家专利权
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龙图腾网获悉之江实验室申请的专利一种基于石墨烯的硅波导偏振滤波器及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117192674B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311262125.7，技术领域涉及：G02B5/30；该发明授权一种基于石墨烯的硅波导偏振滤波器及其制备方法是由王盼;张磊;刘玲玲;张萌徕;焦文婷;高阳;尹坤设计研发完成，并于2023-09-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于石墨烯的硅波导偏振滤波器及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种基于石墨烯的硅波导偏振滤波器，包括依次设置的硅衬底层、二氧化硅下包层、硅波导、聚合物波导和二氧化硅上包层；所述聚合物波导中混有石墨烯。石墨烯浓度范围为0.1mgml‑1mgml。还公开了一种基于石墨烯的硅波导偏振滤波器的制备方法，先在硅衬底层上表面制备二氧化硅下包层，然后在二氧化硅下包层上表面制备硅薄膜层，再将硅薄膜层图案化形成硅波导，将石墨烯混入EPO聚合物光刻胶中，在硅波导上表面制备混有石墨烯的聚合物波导，最后在混有石墨烯的聚合物波导表面制备二氧化硅上包层。本发明能够实现对带有石墨烯的聚合物波导位置、厚度和尺寸的精确控制和图案化，适用于偏振滤波器的精准高效制备和广泛应用。
本发明授权一种基于石墨烯的硅波导偏振滤波器及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种基于石墨烯的硅波导偏振滤波器，其特征在于，包括依次设置的硅衬底层、二氧化硅下包层、硅波导、聚合物波导和二氧化硅上包层；所述聚合物波导中混有石墨烯； 所述硅波导为脊波导，整体长度为5-20μm，非脊宽度为3-5μm，非脊厚度为100-230nm，脊宽度为0.5-1μm，脊厚度为70-100nm，以提高传输效率和稳定性，减少能量损耗，并改善传输模式的质量； 所述硅波导和聚合物波导共同构成一个光学调控系统，聚合物波导主要负责对光波的调控，而硅波导则主要负责光波的传输，其中，聚合物波导的宽边尺寸与脊波导的脊宽度尺寸一致，长度小于脊波导整体长度，以优化光波的传输性能。
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