杭州乾晶半导体有限公司严寿亮获国家专利权
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龙图腾网获悉杭州乾晶半导体有限公司申请的专利一种双层碳化钽涂层的制备方法及石墨部件获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117964403B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410110316.X，技术领域涉及：C04B41/89；该发明授权一种双层碳化钽涂层的制备方法及石墨部件是由严寿亮;徐所成;王明华;张振远;袁志杰;周杰;胡堂正;冯志强设计研发完成，并于2024-01-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种双层碳化钽涂层的制备方法及石墨部件在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体技术领域，特别涉及一种双层碳化钽涂层的制备方法及石墨部件。一种双层碳化钽涂层的制备方法形成所述第一碳化钽涂层为疏松多孔的涂层，使得烧结后的第一碳化钽涂层内部较大的热应力通过疏松多孔的结构进行释放，第一碳化钽涂层与石墨部件更好的结合，避免了第一碳化钽涂层从石墨基材表面脱落；在所述第一碳化钽涂层表面形成的所述第二碳化钽涂层为致密涂层，由于第二碳化钽涂层与所述第一碳化钽涂层的材料均为碳化钽，之间的热应力相差不大，使得所述第一碳化钽涂层与所述第二碳化钽涂层更容易紧密结合使得获得的双涂层更加致密，进而使得获得的具有双涂层的石墨部件更加耐用。
本发明授权一种双层碳化钽涂层的制备方法及石墨部件在权利要求书中公布了：1.一种双层碳化钽涂层的制备方法，其特征在于，包括： 提供含氧钽元素物质的第一悬浮液； 提供硅碳钽复合相物质和第一含钽粉末的第二悬浮液； 将所述第一悬浮液涂覆于石墨部件的表面，固化形成第一预涂层； 将所述第二悬浮液涂覆于所述第一预涂层表面，固化形成第二预涂层； 将固化有第一预涂层与第二预涂层的石墨部件进行烧结，所述第一预涂层形成第一碳化钽涂层，所述第二预涂层形成第二碳化钽涂层，最终获得具有双层碳化钽涂层的石墨部件，其中，所述第一碳化钽涂层具有疏松多孔的结构，烧结后的第一碳化钽涂层内部的热应力通过疏松多孔的结构进行释放，使得所述第一碳化钽涂层与石墨部件更好的结合，位于所述第一碳化钽涂层表面的所述第二碳化钽涂层具有致密结构，使得获得的双涂层更加致密。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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