株式会社斯库林集团岩崎旭纮获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利衬底处理系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119208187B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410850539.X，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权衬底处理系统是由岩崎旭纮;谷口进一设计研发完成，并于2024-06-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本衬底处理系统在说明书摘要公布了：本发明提供一种在具备分批式模块、单片式模块的衬底处理系统中，能应对衬底的朝向相关的各种要求的衬底处理系统。本发明的衬底处理系统具备能在搬入位置IP侧或搬出位置OP调整衬底W中的凹口的位置的旋转台的旋转调整机构SRM。中继装置6排出到单片处理装置2的衬底W的朝向能通过旋转调整机构SRM任意变更。根据本发明，能提供一种能应对衬底W的朝向相关的各种要求的衬底处理系统。
本发明授权衬底处理系统在权利要求书中公布了：1.一种衬底处理系统，其特征在于，所述衬底处理系统连续进行统一处理多片衬底的分批处理，与逐片处理衬底的单片处理，且具备： 分批处理装置，进行分批处理； 至少1个单片处理装置，对已分批处理的衬底进行单片处理；及 至少1个中继装置，规定了用来从所述分批处理装置接收已分批处理的衬底的搬入位置，与用来将在所述搬入位置接收到的衬底移交给所述单片处理装置的搬出位置这2个位置；且 所述分批处理装置具备： 能将铅直姿势的多片衬底统一进行浸渍处理的至少1个分批处理槽； 所述单片处理装置具备： 能将水平姿势的衬底逐片进行干燥处理的多个单片处理腔室； 所述中继装置具备： 姿势转换机构，在所述搬入位置侧，能将多片衬底从铅直姿势转换成水平姿势； 中继搬送机构，所述中继搬送机构设置在所述搬入位置与所述搬出位置之间，且能将水平姿势的衬底逐片沿衬底搬送路搬送到所述搬出位置；及 旋转调整机构，具备在所述搬入位置侧或所述搬出位置，使水平姿势的衬底逐片旋转，由此能调整衬底的凹口的位置的旋转台。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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