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龙图腾网获悉先导薄膜材料(江苏)有限公司申请的专利高致密、低电阻率、少白皮的大尺寸AZO旋转靶材及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119735436B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411832879.6，技术领域涉及：C04B35/453；该发明授权高致密、低电阻率、少白皮的大尺寸AZO旋转靶材及其制备方法是由周静茹;陈曦;荀博奇;李帅;余芳;蔡新志设计研发完成，并于2024-12-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本高致密、低电阻率、少白皮的大尺寸AZO旋转靶材及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明属于靶材技术领域，公开了高致密、低电阻率、少白皮的大尺寸AZO旋转靶材的制备方法，包括：将氧化锌和氧化铝的混合浆料进行喷雾造粒，得到混合粉料；混合粉料装模后经冷等静压，得到生坯；所述冷等静压分4‑6段进行，后一段的压力比前一段的压力大30~60MPa；将生坯在惰性气氛下进行烧结，以0.3℃min~2℃min的速度升温至1300℃~1550℃保温0.5~1h，然后再以2℃~5℃min的速度降温至1200℃~1350℃保温10~20h，得到AZO旋转靶材。在现有的制备工艺流程中，改变冷等静压方式、烧结制度等，即可得到长度大于500mm、外径大于150mm、厚度大于20mm的旋转靶材，且旋转靶材的相对密度大于99.86%、电阻率低于7‑4Ωcm，表面质量好，白皮少，内外部颜色均匀，晶粒尺寸小于15μm。

本发明授权高致密、低电阻率、少白皮的大尺寸AZO旋转靶材及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种高致密、低电阻率、少白皮的大尺寸AZO旋转靶材的制备方法，包括： 将氧化锌和氧化铝的混合浆料进行喷雾造粒，得到混合粉料； 混合粉料装模后经冷等静压，得到生坯；所述冷等静压分5段进行，增压过程中，后一段的压力比前一段的压力大30~60MPa；第一段的压力为30-50Mpa，保压时间为3-6min；第二段的压力为60-90MPa，保压时间为2-6min；第三段的压力为100-130MPa，保压时间为1-3min；第四段的压力为140-160MPa，保压时间为1-3min；第五段的压力为170~200Mpa，保压时间为10~15min； 将生坯在惰性气氛下进行烧结，以0.3℃min~2℃min的速度升温至1300℃~1550℃保温0.5-1h，然后再以2℃~5℃min的速度降温至1200℃~1350℃保温10-20h，得到AZO旋转靶材； 所述大尺寸旋转AZO靶材的长度大于500mm，外径大于150mm，厚度大于20mm。

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