上海庆建廷科技有限公司丁立获国家专利权
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龙图腾网获悉上海庆建廷科技有限公司申请的专利一种固态前驱体钢瓶获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120818813B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-03发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511054448.6,技术领域涉及:C23C16/455;该发明授权一种固态前驱体钢瓶是由丁立;于朝蓬;齐金和;何俊;俞俊设计研发完成,并于2025-07-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种固态前驱体钢瓶在说明书摘要公布了:本发明涉及一种固态前驱体钢瓶包括:钢瓶主体、钢瓶底层、托盘、以及上盖,所述托盘置于所述钢瓶主体内,所述托盘内承载有固体前驱体源,在每层所述托盘上密布有贯穿所述托盘及固体前驱体源的上行通孔,所述上行通孔的上方设有上方弯头,在所述托盘的中心处设有下行通孔,相邻两个所述托盘之间具有一定间距,并通过下行贯穿管实现所述下行通孔之间的连通;所述上盖与所述钢瓶主体通过紧固件固定连接,包括顶部盖板、压紧盖板、以及混合仓盖。本发明通过钢瓶结构设计及系统性的流道优化来保证前驱体源和载气的充分混合,实现了浓度稳定控制与稳定供给;通孔环绕前驱体,避免了许多现有技术中“流道短路”的情形,有利于保持前驱体挥发及浓度稳定。
本发明授权一种固态前驱体钢瓶在权利要求书中公布了:1.一种固态前驱体钢瓶,其特征在于,包括: 钢瓶主体, 钢瓶底层,置于所述钢瓶主体的底部,呈圆弧形状; 若干层托盘,所述托盘置于所述钢瓶主体内,所述托盘内承载有一定厚度的固体前驱体源,在每层所述托盘上密布有贯穿所述托盘及固体前驱体源的上行通孔,所述上行通孔的上方设有用于引导气流走向的上方弯头,在所述托盘的中心处设有下行通孔,相邻两个所述托盘之间具有一定间距,并通过下行贯穿管实现所述下行通孔之间的连通; 上盖,所述上盖与所述钢瓶主体通过紧固件固定连接,包括顶部盖板、压紧盖板、以及混合仓盖,所述顶部盖板上设有气源进口和气源出口,所述混合仓盖设置在所述气源出口的上方,并通过一气体出口向外排出气体;在所述顶部盖板上设有弧形凹槽,所述弧形凹槽的一端自所述气源进口起始,并至所述顶部盖板的中心处终止,并穿过所述压紧盖板与所述下行通孔相连通。
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