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龙图腾网获悉茂莱(南京)仪器有限公司申请的专利基于多波段引导的动态光学厚度测量方法及测量系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121025983B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511539340.6，技术领域涉及：G01B11/06；该发明授权基于多波段引导的动态光学厚度测量方法及测量系统是由禹沈清;杜兵强;范浩设计研发完成，并于2025-10-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本基于多波段引导的动态光学厚度测量方法及测量系统在说明书摘要公布了：本发明公开了一种基于多波段引导的动态光学厚度测量方法及测量系统，系统采用SLD1310nm宽光谱光源与1550nm的可调谐窄带激光器构成双波段干涉光路，通过波分复用器合束与分束，核心在于采用FPGA作为异构计算单元，同步并行处理双路干涉信号：使用宽光谱信号进行光学厚度测量范围的粗定位；使用窄带信号实现亚纳米分辨率精测；并创新性地引入基于信噪比与测量结果振动程度的动态权重融合策略，自适应加权融合粗、精测结果，显著提升了复杂工业环境下光学元件厚度与间隔测量的精度、抗干扰性与实时性。

本发明授权基于多波段引导的动态光学厚度测量方法及测量系统在权利要求书中公布了：1.基于多波段引导的动态光学厚度测量方法，其特征在于，包括步骤： S01、使用宽光谱光源作为粗定位光源，使用窄带可调谐激光器发出的光波作为精测光源，使用粗定位光源、精测光源、待测样品、参考镜和反射镜搭建干涉光路；粗定位光源分束后分别照射待测样品和参考镜上，精测光源分束后分别照射在参考镜和反射镜上，返回的光线相互干涉形成对应波段的干涉光； S02、将返回的干涉光按照波段进行分束，将分束后的宽光谱干涉光信号和窄带干涉光信号分别转换为电信号； S03、使用宽光谱干涉光信号对应的宽光谱干涉电信号进行光学厚度测量范围的粗定位，确认光学厚度测量范围； S04、根据确认的光学厚度测量范围，使用窄带干涉光信号对应的窄带干涉电信号进行距离换算，获取准确的光程差测量值，以光程差测量值作为光学厚度值； 在使用宽光谱干涉电信号进行粗定位时，先通过宽光谱干涉电信号粗定位峰值区域，再通过Hilbert变换提取包络信号，并确定准确的包络峰值位置，进而实现对光学厚度测量范围的粗定位； 进行包络峰值位置确定时，采集到的宽光谱干涉电信号I1310z进行Hilbert变换，得到解析信号H[I1310z]，计算出信号包络E1z：； 对包络信号E1z进行滑动窗口均值滤波，采用三阶多项式拟合包络峰值区域，通过求解拟合函数一阶导数为零的点，确定包络峰值位置，并根据包络峰位置进行距离换算得出粗定位光源的光学测量值； 使用窄带干涉电信号进行距离换算时，对窄带干涉电信号，通过信号的符号变化定位信号过零点所在的采样区间，在采样区间内使用三点插值法确定过零点位置，确定过零点所对应的相位，n为折射率，为过零点对应的横坐标值；对窄带干涉电信号信号进行FFT变换，通过寻峰获取主频fpeak，进而计算出光程差的绝对估计值，确定干涉级次m；精测光源的光学测量值，表示精测光源的波长； 在步骤S04中，根据宽光谱干涉电信号和窄带干涉电信号的信噪比以及窄带干涉电信号的振动程度赋予粗定位光源的光学测量值和精测光源的光学测量值不同的权重进行异构加权，以加权的最终结果作为实际的光学厚度测量值；实际光学厚度测量值，其中=1，为粗定位光源的光学测量值对应的计算权重，为精测光源的光学测量值对应的计算权重。

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