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北京承宽真空科技有限公司贾鸿儒获国家专利权

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龙图腾网获悉北京承宽真空科技有限公司申请的专利一种真空镀膜机用靶材固定装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224077519U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-03发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520887213.4,技术领域涉及:C23C14/34;该实用新型一种真空镀膜机用靶材固定装置是由贾鸿儒;胡爽;郭舒月;张继兴设计研发完成,并于2025-05-07向国家知识产权局提交的专利申请。

一种真空镀膜机用靶材固定装置在说明书摘要公布了:本实用新型涉及真空镀膜技术领域,具体为一种真空镀膜机用靶材固定装置,包括固定架、移动板和两个夹持件,固定架的顶部对称安装有两个第一滑轨,移动板与第一滑轨滑动配合,移动板的顶部对称安装有四个第二滑轨,固定架上固定安装有用于控制移动板滑动的第一驱动件,移动板上设有用于控制两个夹持件相互靠近或相互远离的调节组件,移动板对应两个第一滑轨的位置均设有自锁组件,当第一驱动件控制移动板滑动时,自锁组件用于锁死调节组件;通过设置自锁组件,自锁组件能够在靶材移动时锁死丝杆,防止由于振动等原因导致的螺纹杆旋转,从而确保靶材在溅射过程中的稳定性,避免因移动或振动造成的薄膜不均匀或设备损坏。

本实用新型一种真空镀膜机用靶材固定装置在权利要求书中公布了:1.一种真空镀膜机用靶材固定装置,其特征在于:包括固定架1、移动板2和两个夹持件3,所述固定架1的顶部对称安装有两个第一滑轨4,两个所述第一滑轨4均为横向设置,所述移动板2与所述第一滑轨4滑动配合,所述移动板2的顶部对称安装有四个第二滑轨5,四个所述第二滑轨5均为纵向设置,两个所述夹持件3与所述第二滑轨5滑动配合,所述固定架1上固定安装有用于控制所述移动板2滑动的第一驱动件6,所述移动板2上设有用于控制两个所述夹持件3相互靠近或相互远离的调节组件7,所述移动板2对应两个所述第一滑轨4的位置均设有自锁组件8,当所述第一驱动件6控制所述移动板2滑动时,所述自锁组件8用于锁死调节组件7。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人北京承宽真空科技有限公司,其通讯地址为:102206 北京市昌平区立业路13号1幢1至3层101内2层2015;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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