广州番禺职业技术学院袁军平获国家专利权
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龙图腾网获悉广州番禺职业技术学院申请的专利一种贵金属溅射靶获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224077521U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202322487198.8，技术领域涉及：C23C14/35；该实用新型一种贵金属溅射靶是由袁军平;卢焕洵;黄宇亨;陈惠昕;彭扬设计研发完成，并于2023-09-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种贵金属溅射靶在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种贵金属溅射靶，包括靶材本体及设于靶材本体底面的背板，靶材本体设有与溅射刻蚀形貌镜像对称的环形凸起结构及连接部分，环形凸起结构的中央为最高部位，环形凸起结构的中央逐渐向边缘处呈马鞍状过渡，连接部分呈平面状，背板与靶材本体为焊接。上述贵金属溅射靶通过在靶材本体上形成与溅射刻蚀形貌镜像对称的环形凸起结构，使溅射过程针对凸起部位激发，从而大幅减少靶材的初始整体厚度，并显著提高靶材的利用率。
本实用新型一种贵金属溅射靶在权利要求书中公布了：1.一种贵金属溅射靶，其特征在于，包括靶材本体及设于所述靶材本体底面的背板，所述靶材本体设有与溅射刻蚀形貌镜像对称的环形凸起结构及连接部分，所述环形凸起结构的中央为最高部位，所述环形凸起结构的中央逐渐向边缘处呈马鞍状过渡，所述连接部分呈平面状，所述背板与所述靶材本体为焊接。
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