浙江求是半导体设备有限公司;浙江晶盛机电股份有限公司曹建伟获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江求是半导体设备有限公司;浙江晶盛机电股份有限公司申请的专利冷却结构及化学气相沉积设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224077529U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520696666.9，技术领域涉及：C23C16/44；该实用新型冷却结构及化学气相沉积设备是由曹建伟;刘毅;傅林坚;朱亮;张磊;龚碧瑶;杨斌设计研发完成，并于2025-04-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本冷却结构及化学气相沉积设备在说明书摘要公布了：本实用新型属于半导体加工技术领域，公开了冷却结构及化学气相沉积设备，冷却结构用于冷却磁流体密封组件，磁流体密封组件包括旋转电机及从轴心由内至外依次设置的内轴套、外轴套和基座轴套，内轴套和外轴套之间设有第一磁流体结构，外轴套和基座轴套之间设有第二磁流体结构，旋转电机驱动外轴套旋转，基座轴套一端密封连接被密封件；冷却结构包括开设于内轴套内部的多条第一水冷流道，多条第一水冷流道均连通外部水冷系统，多条第一水冷流道之间相互连通，第一水冷流道用于冷却第一磁流体结构。本实用新型的冷却结构对双轴式磁流体密封组件内侧的第一磁流体结构提供更好的冷却性能，降低内部磁液蒸发风险，保证化学气相沉积设备的工艺可靠性。
本实用新型冷却结构及化学气相沉积设备在权利要求书中公布了：1.冷却结构，应用于磁流体密封组件，所述磁流体密封组件包括旋转电机1以及从轴心由内至外依次设置的内轴套2、外轴套3和基座轴套4，所述内轴套2和所述外轴套3之间设置有第一磁流体结构5，所述外轴套3和所述基座轴套4之间设置有第二磁流体结构6，所述内轴套2具有两端贯穿的连通腔21，所述旋转电机1驱动所述外轴套3旋转，所述基座轴套4的一端连接被密封件，其特征在于，所述冷却结构包括开设于所述内轴套2内部的多条第一水冷流道22，多条所述第一水冷流道22均连通外部水冷系统，且多条所述第一水冷流道22之间相互连通，所述第一水冷流道22用于冷却所述第一磁流体结构5。
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