中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司薄林获国家专利权
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龙图腾网获悉中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司申请的专利一种具有补气功能的气相沉积炉获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224077532U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520713208.1，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型一种具有补气功能的气相沉积炉是由薄林;裴佳莹;王亚峰;彭立培;韩士全;王云飞;邢海洋;刘宇腾设计研发完成，并于2025-04-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种具有补气功能的气相沉积炉在说明书摘要公布了：本实用新型属于化学气相沉积领域，具体涉及一种具有补气功能的气相沉积炉。包括炉体、进气结构、补气结构和出气管；炉体内部设有沉积室，炉体上部固定连接进气结构，所述进气结构包括进气混气室、进气管和布气管；进气结构上部固定连接补气结构，补气结构包括补气混气室、补气进气管和工件外侧补气管；出气管设置在所述炉体的侧壁下部且与沉积室连通。本实用新型所提供的补气装置，通过工件外侧补气管的设置，一方面可以提高待沉积工件表面涂层沉积的质量，另一方面还可以保证待沉积工件内壁表面涂层沉积的质量。
本实用新型一种具有补气功能的气相沉积炉在权利要求书中公布了：1.一种具有补气功能的气相沉积炉，其特征在于，包括炉体8、进气结构、补气结构和出气管10； 所述炉体8内部设有用于放置待沉积工件7的沉积室11，所述炉体8上部固定连接进气结构，所述进气结构包括进气混气室3，所述进气混气室3侧壁沿圆周方向均匀贯穿设有多根进气管5，所述沉积室顶部和所述进气混气室3底部连接处贯穿设有多根布气管4； 所述进气结构上部固定连接补气结构，所述补气结构包括补气混气室2，所述补气混气室2顶部与所述进气混气室3固定连接；所述补气混气室2的上端设有与补气混气室2连通的补气进气管1，所述补气混气室2底部设置多个圆孔，所述圆孔通过螺纹连接有工件外侧补气管6，所述工件外侧补气管6一端与所述补气混气室2连通，另一端穿过所述进气混气室3并延伸至沉积室11； 所述出气管10设置在所述炉体8的侧壁下部且与所述沉积室11连通，用于将多余的沉积气体排出沉积室11。
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