芯栋微(上海)半导体技术有限公司史蒂文·贺·汪获国家专利权
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龙图腾网获悉芯栋微(上海)半导体技术有限公司申请的专利晶圆缺口遮挡装置及包含其的电镀装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224077578U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-03发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520762013.6,技术领域涉及:C25D17/00;该实用新型晶圆缺口遮挡装置及包含其的电镀装置是由史蒂文·贺·汪;印琼玲;林鹏鹏;韦永雁;王涛;徐亚南;黄亚丽;孙健彭设计研发完成,并于2025-04-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆缺口遮挡装置及包含其的电镀装置在说明书摘要公布了:本实用新型提供一种晶圆缺口遮挡装置及包含其的电镀装置,所述晶圆缺口遮挡装置包括有:连接部,所述连接部的一侧用于与晶圆电镀夹具可拆卸连接,所述连接部具有容纳孔,所述容纳孔内用于容纳晶圆;遮挡部,所述遮挡部可拆卸连接于所述连接部背离所述晶圆电镀夹具的一侧,所述遮挡部沿所述晶圆的阴极投影方向对应所述晶圆的缺口设置,所述遮挡部用于屏蔽所述晶圆的缺口处的电场线。通过设置连接部和遮挡部,以在电镀过程中,通过遮挡部在晶圆的阴极对应晶圆的缺口屏蔽电场线,减弱该处的电流分布,降低晶圆缺口处金属沉积速率,从而使得缺口处电镀层厚度变薄,克服电镀时缺口处电镀层厚度偏厚均匀性差的问题。
本实用新型晶圆缺口遮挡装置及包含其的电镀装置在权利要求书中公布了:1.一种晶圆缺口遮挡装置,其特征在于,所述晶圆缺口遮挡装置包括有: 连接部,所述连接部的一侧用于与晶圆电镀夹具可拆卸连接,所述连接部具有容纳孔,所述容纳孔内用于容纳晶圆; 遮挡部,所述遮挡部可拆卸连接于所述连接部背离所述晶圆电镀夹具的一侧,所述遮挡部沿所述晶圆的阴极投影方向对应所述晶圆的缺口设置,所述遮挡部用于屏蔽所述晶圆的缺口处的电场线。
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