苏州钧华半导体技术有限公司鲍杰获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州钧华半导体技术有限公司申请的专利晶圆电镀柔性导电防渗透支撑架获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224077583U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-03发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520900646.9,技术领域涉及:C25D17/00;该实用新型晶圆电镀柔性导电防渗透支撑架是由鲍杰;李佳锐;庞国强设计研发完成,并于2025-05-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆电镀柔性导电防渗透支撑架在说明书摘要公布了:本实用新型提供晶圆电镀柔性导电防渗透支撑架,应用于晶圆电镀技术领域,包括金属导电棒、金属导电块、金属支撑架;金属导电棒、金属导电块均位于上金属导电环与下金属导电环之间的卡齿结构形成的空腔内,金属导电块的一端与晶圆接触,另一端与金属导电棒卡接;金属导电块、下金属导电环均被配置于金属支撑架底部的环状平台上,环状平台与金属导电块之间设置有弹性元件;金属支撑架上安装有绝缘密封圈,绝缘密封圈包覆金属支撑架的内周侧面,绝缘密封圈包括环状顶部凸起。利用金属导电块为晶圆导电,利用弹性元件实现柔性接触,利用密封圈上的突起结构实现密封,能够使电流稳定均匀的同时增大绝缘密封圈的变形量,实现良好密封。
本实用新型晶圆电镀柔性导电防渗透支撑架在权利要求书中公布了:1.晶圆电镀柔性导电防渗透支撑架,其特征在于,包括上金属导电环1、金属导电棒2、金属导电块3、下金属导电环4、金属支撑架5、绝缘密封圈6和弹性元件7; 所述上金属导电环1与下金属导电环4对称设置,所述金属导电棒2、金属导电块3均位于上金属导电环1与下金属导电环4之间的卡齿结构形成的空腔内,所述金属导电块3的一端与晶圆接触,另一端与金属导电棒2卡接; 所述金属支撑架5的底部设置有环状平台503,所述金属导电块3、下金属导电环4均被配置于环状平台503上,所述环状平台503与金属导电块3之间设置有弹性元件7; 所述金属支撑架5上安装有绝缘密封圈6,所述绝缘密封圈6包覆金属支撑架5的内周侧面501,所述绝缘密封圈6包括环状顶部凸起601,用于与下压的晶圆接触。
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