成都新紫光半导体科技有限公司林暌昙获国家专利权
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龙图腾网获悉成都新紫光半导体科技有限公司申请的专利测量装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224080935U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520998945.0，技术领域涉及：G01B11/14；该实用新型测量装置是由林暌昙设计研发完成，并于2025-05-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本测量装置在说明书摘要公布了：本公开涉及一种测量装置，用于刻蚀机，所述刻蚀机包括聚焦环组件和基座，所述测量装置包括底座以及测量装置，所述底座连接于所述基座；所述测量组件连接于所述底座，包括适于设置在所述底座和所述聚焦环组件上方的镭射传感器，所述镭射传感器用于无接触地周向测量所述底座与所述聚焦环组件之间的径向距离。通过上述技术方案，使用镭射传感器能够用于测量底座和聚焦环组件之间的径向距离，具体地，镭射传感器发出的测量光线的直径可以等于上述径向距离，测量光线自上而下照射于底座和聚焦环组件之间，并能够通过例如镭射传感器的移动而周向测量该径向距离，上述测量过程无需受限于工作人员的感觉和经验，测量准确率和测量精度较高。
本实用新型测量装置在权利要求书中公布了：1.一种测量装置，用于刻蚀机，所述刻蚀机包括聚焦环组件和基座，其特征在于，所述测量装置包括： 底座，连接于所述基座；以及 测量组件，连接于所述底座，包括适于设置在所述底座和所述聚焦环组件上方的镭射传感器，所述镭射传感器用于无接触地周向测量所述底座与所述聚焦环组件之间的径向距离。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人成都新紫光半导体科技有限公司，其通讯地址为：611730 四川省成都市成都高新区尚雅路7号附1号1楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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