吉姆西半导体科技(无锡)股份有限公司肖兆海获国家专利权
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龙图腾网获悉吉姆西半导体科技(无锡)股份有限公司申请的专利一种研磨垫检测装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224081298U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-03发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520521630.7,技术领域涉及:G01N3/02;该实用新型一种研磨垫检测装置是由肖兆海;陈国亮设计研发完成,并于2025-03-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种研磨垫检测装置在说明书摘要公布了:本申请实施例公开了一种研磨垫检测装置。所述装置包括:工作台,所述工作台用于放置研磨垫;测量器具,包括安装组件和至少一个测量仪,所述至少一个测量仪安装在所述安装组件上,所述安装组件可拆卸地安装在所述工作台上;所述至少一个测量仪用于所述安装组件安装在所述工作台上时,与所述工作台上的研磨垫相抵接,确定所述研磨垫的厚度。通过本申请实施例,解决如何在研磨垫不与设备分离的情况下实现研磨垫厚度测量的技术问题。
本实用新型一种研磨垫检测装置在权利要求书中公布了:1.一种研磨垫检测装置,其特征在于,包括: 工作台,所述工作台用于放置研磨垫; 测量器具,包括安装组件和至少一个测量仪,所述至少一个测量仪安装在所述安装组件上,所述安装组件可拆卸地安装在所述工作台上;所述至少一个测量仪用于所述安装组件安装在所述工作台上时,与所述工作台上的研磨垫相抵接,确定所述研磨垫的厚度。
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