苏州经贸职业技术学院张云涵获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州经贸职业技术学院申请的专利一种半导体晶片表面缺陷检测装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224081474U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-03发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520735087.0,技术领域涉及:G01N21/01;该实用新型一种半导体晶片表面缺陷检测装置是由张云涵;连圣阳;孙培瑄;饶墨涵;索程;张海琴;赵宇设计研发完成,并于2025-04-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体晶片表面缺陷检测装置在说明书摘要公布了:本实用新型涉及缺陷检测技术领域,具体是一种半导体晶片表面缺陷检测装置,包括箱体,所述箱体的上表面固定连接有控制器,所述箱体的上表面固定连接有显示器,所述箱体的侧表面固定连接有伺服电机,所述伺服电机的输出端固定连接有往复丝杆,所述往复丝杆的外表面活动连接有视觉模块,所述视觉模块包括第二检测板和安装座,本实用新型中,当视觉模块中的第二检测板、铰接板和第一检测板处于同一条直线的时候,两个摄像头对下方进行视觉信息录入,可同时对两排晶体进行检测提高检测效率,当两个摄像头相对的时候,可对同一排的晶体正反两面同时进行视觉信息录入,适合单排晶体的精细化检测,使检测方式更加的灵活。
本实用新型一种半导体晶片表面缺陷检测装置在权利要求书中公布了:1.一种半导体晶片表面缺陷检测装置,包括箱体1,所述箱体1的上表面固定连接有控制器5,所述箱体1的上表面固定连接有显示器6,所述箱体1的侧表面固定连接有伺服电机2,所述伺服电机2的输出端固定连接有往复丝杆201; 其特征在于,所述往复丝杆201的外表面活动连接有视觉模块7,所述视觉模块7包括: 第二检测板704,配合连接于往复丝杆201的外表面,所述第二检测板704的一端铰接有铰接板701,所述铰接板701的一端铰接有第一检测板703; 安装座705,数量有两个且分别固定连接于第一检测板703和第二检测板704的上表面,所述安装座705的下表面固定连接有摄像头707。
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