常熟无限束科技有限公司胡政一获国家专利权
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龙图腾网获悉常熟无限束科技有限公司申请的专利晶圆表面检测及缺陷标记的一体化装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224081527U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-03发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520788595.5,技术领域涉及:G01N21/95;该实用新型晶圆表面检测及缺陷标记的一体化装置是由胡政一;林棟;陳世亮设计研发完成,并于2025-04-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆表面检测及缺陷标记的一体化装置在说明书摘要公布了:本实用新型涉及晶圆表面检测领域,尤其涉及晶圆表面检测及缺陷标记的一体化装置,包括有第一地台;还包括有第一液压推杆和安装台,第一地台的一侧端部安装有连接杆,连接杆的前后端部均安装有安装台,安装台的内侧安装有第二液压推杆,前端部的第二液压推杆的输出端安装有第一安装架,后端部的第二液压推杆的输出端安装有第二安装架;本实用新型通过第一液压推杆、连接杆和安装台来移动检测结构对接晶圆本体,并检测晶圆表面缺陷,在检测完成后,启动第二液压推杆带动第一安装架和第二安装架下降,从而使得标印环下降来贴合晶圆,并框定标记检测的缺陷处,以在检测后将晶圆保持在固定位置时进行标记,提高标记的及时性和准确度。
本实用新型晶圆表面检测及缺陷标记的一体化装置在权利要求书中公布了:1.晶圆表面检测及缺陷标记的一体化装置,包括有第一地台1;其特征在于:还包括有第一液压推杆4和安装台6,第一地台1的一侧端部安装有连接杆5,连接杆5的前后端部均安装有安装台6,安装台6的内侧安装有第二液压推杆7,前端部的第二液压推杆7的输出端安装有第一安装架8,后端部的第二液压推杆7的输出端安装有第二安装架9,第二液压推杆7的外侧设置有第一弹簧10,第一安装架8的内侧滑动连接有用于复位标记结构的第一标印台11,第二安装架9的内侧滑动连接有用于复位标记结构第二标印台12,第一标印台11和第二标印台12的下端部安装有用于标记缺陷的标印环13,第一标印台11和第二标印台12与第一标印台11和第二标印台12之间安装有第二弹簧14。
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