哈尔滨工业大学(深圳)(哈尔滨工业大学深圳科技创新研究院)徐小川获国家专利权
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龙图腾网获悉哈尔滨工业大学(深圳)(哈尔滨工业大学深圳科技创新研究院)申请的专利一种复合多模波导结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224081844U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520782367.7，技术领域涉及：G02B6/122；该实用新型一种复合多模波导结构是由徐小川;刘晓谦;冯炀;李艳梅;杜泱;何枫;段嘉楠;王嘉威设计研发完成，并于2025-04-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种复合多模波导结构在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种复合多模波导结构，属于光电子器件技术领域，该复合多模波导结构包括：等离激元单元，所述等离激元单元由金属材料或具有负实部介电函数的材料构成，等离激元单元的结构特征包含纳米颗粒、纳米线、纳米孔阵列或梯度结构；介质波导，所述介质波导由具有高折射率的半导体材料构成，所述介质波导设计为条形波导、脊形波导或狭缝波导中的一种；衬底层，所述衬底层位于所述等离激元单元和介质波导下方，包含至少一层低折射率支撑层，所述低折射率支撑层的材料体系为氧化物材料、氮化物材料、氟化物材料或复合衬底结构中的一种。本方案解决了等离子体器件与硅光子学在模式自由度、损耗和工艺兼容性之间的矛盾。
本实用新型一种复合多模波导结构在权利要求书中公布了：1.一种复合多模波导结构，其特征在于，包括： 等离激元单元，所述等离激元单元由金属材料或具有负实部介电函数的材料构成，所述等离激元单元采用连续薄膜、离散纳米结构或周期性阵列形式实现，等离激元单元的结构特征包含纳米颗粒、纳米线、纳米孔阵列或梯度结构； 介质波导，所述介质波导由具有高折射率的半导体材料构成，所述介质波导设计为条形波导、脊形波导或狭缝波导中的一种，介质波导的截面形状为矩形、梯形、抛物线形中的一种，且允许包含纵向渐变或周期调制结构； 衬底层，所述衬底层位于所述等离激元单元和介质波导下方，包含至少一层低折射率支撑层，所述低折射率支撑层的材料体系为氧化物材料、氮化物材料、氟化物材料或复合衬底结构中的一种，所述衬底为平面衬底、图案化衬底或柔性衬底中的一种，所述衬底包含应力调节层和热膨胀匹配层。
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