上海赛瑾精密科技有限公司赵建光获国家专利权
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龙图腾网获悉上海赛瑾精密科技有限公司申请的专利一种改善翘曲晶圆吸附效果的载片装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224084042U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-03发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520743363.8，技术领域涉及：H10P72/78；该实用新型一种改善翘曲晶圆吸附效果的载片装置是由赵建光;唐小玲;席晓明设计研发完成，并于2025-04-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种改善翘曲晶圆吸附效果的载片装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种改善翘曲晶圆吸附效果的载片装置，包括：固定片环，所述固定片环的表面设置有凸台且凸台设置有三组，三组所述凸台之间形成两路真空流道且真空流道之间设置有连通流道，两路所述真空流道通过连通流道形成连通，位于最内侧的所述凸台中形成真空腔。本实用新型在固定片环的表面设置有凸台且凸台设置有三组，三组凸台之间形成两路真空流道且真空流道之间设置有连通流道，两条真空流道通过连通流道形成连通，在最内侧的凸台中形成真空腔，在真空腔的内部设置有若干组规则分布的凸点，凸点之间形成流道，采用两路真空流道使载台的真空腔中形成分区域的分段式吸附方式，使翘曲晶圆完全贴合载台表面，有效改善晶圆平整度。
本实用新型一种改善翘曲晶圆吸附效果的载片装置在权利要求书中公布了：1.一种改善翘曲晶圆吸附效果的载片装置，其特征在于：包括：固定片环1，所述固定片环1的表面设置有凸台6且凸台6设置有三组，三组所述凸台6之间形成两路真空流道7且真空流道7之间设置有连通流道8，两路所述真空流道7通过连通流道8形成连通，位于最内侧的所述凸台6中形成真空腔11，所述真空腔11的内部设置有若干组规则分布的凸点9，所述凸点9之间形成流道，所述真空腔11的内部设置有三组升降孔10且升降孔10呈品字形结构设置。
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