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龙图腾网获悉北京铂阳顶荣光伏科技有限公司申请的专利离子注入设备及太阳能电池制作方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN109524287B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201811628224.1，技术领域涉及：H01J37/317；该发明授权离子注入设备及太阳能电池制作方法是由徐义;张时阁设计研发完成，并于2018-12-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本离子注入设备及太阳能电池制作方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种离子注入设备及太阳能电池制作方法。所述离子注入应用于铜铟镓硒CIGS薄膜制备装置，所述制备装置包括工艺腔，所述工艺腔用于在基板上形成CIGS薄膜，所述离子注入设备包括：离子容置腔，位于所述工艺腔内，所述离子容置腔包括释放口，所述释放口位于所述形成有CIGS薄膜的基板的下方；离子发生构件，位于所述离子容置腔内，用于在所述离子容置腔内产生碱金属离子；离子加速构件，位于所述工艺腔内，用于对所述离子发生构件产生的所述碱金属离子进行加速，使得所述碱金属离子从所述释放口射出，射向所述CIGS薄膜。该技术方案可以精确控制所需的碱金属离子的分布梯度和浓度，得到完美分布的碱金属离子梯度，增强CIGS薄膜的性能，节省能耗。

本发明授权离子注入设备及太阳能电池制作方法在权利要求书中公布了：1.一种离子注入设备，应用于铜铟镓硒CIGS薄膜制备装置，所述制备装置包括工艺腔，所述工艺腔用于在基板上形成CIGS薄膜以得到CIGS薄膜基板，其特征在于，所述离子注入设备包括： 离子容置腔，位于所述工艺腔内，所述离子容置腔包括释放口，所述释放口位于所述CIGS薄膜基板的下方，朝向所述CIGS薄膜； 离子发生构件，位于所述离子容置腔内，用于在所述离子容置腔内产生碱金属离子； 离子加速构件，位于所述工艺腔内，用于对所述离子发生构件产生的所述碱金属离子进行加速，使得所述碱金属离子从所述释放口射出，射向所述CIGS薄膜； 所述离子发生构件包括： 碱金属靶材，位于所述离子容置腔内； 直流脉冲电源接口，用于连接直流脉冲电源，所述直流脉冲电源接口的阳极连接所述工艺腔的壳体，所述直流脉冲电源接口的阴极连接所述碱金属靶材； 导管，所述导管的一端连通所述离子容置腔，另一端连通至所述工艺腔外部，用于向所述离子容置腔内导入惰性气体； 所述碱金属靶材包括卧式靶材； 所述卧式靶材包括圆柱卧式旋转靶材；所述离子注入设备还包括： 控制器； 电机，连接所述控制器和所述圆柱卧式旋转靶材，用于在所述控制器的控制下带动所述圆柱卧式旋转靶材旋转； 所述释放口位于所述离子容置腔的顶部；所述离子加速构件还包括： 线圈，螺旋缠绕在所述离子容置腔的外壁； 脉冲电源接口，用于连接脉冲电源，所述脉冲电源接口的两端分别连接所述线圈的两端，用于使所述线圈产生磁场，所述磁场用于对所述离子容置腔内的碱金属离子进行加速，使所述碱金属离子从所述释放口射出； 所述离子加速构件还包括： 接地金属板，位于所述CIGS薄膜基板的所述CIGS薄膜所在面的相对面与工艺腔的顶部之间，与所述CIGS薄膜基板平行； 所述离子注入设备包括两个所述离子容置腔以及分别位于两个所述离子容置腔内的两个所述离子发生构件；其中两个所述离子容置腔的所述释放口以一定的角度相对； 所述离子加速构件包括粒子对撞器，所述粒子对撞器上设置有输入口和输出口，所述输入口连通两个所述离子容置腔的释放口，所述粒子对撞器用于使从所述输入口输入的产生于两个所述离子容置腔的所述碱金属离子进行加速后对撞，并使对撞后的碱金属离子从所述输出口射出，射向所述CIGS薄膜。

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