佳能株式会社江头信一获国家专利权
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龙图腾网获悉佳能株式会社申请的专利确定样本压射区域的集合的方法和信息处理装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114253087B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202111098337.7,技术领域涉及:G03F7/20;该发明授权确定样本压射区域的集合的方法和信息处理装置是由江头信一设计研发完成,并于2021-09-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本确定样本压射区域的集合的方法和信息处理装置在说明书摘要公布了:公开了确定样本压射区域的集合的方法和信息处理装置。提供了从基板的多个压射区域中确定样本压射区域的集合的方法,在每个样本压射区域中标记的位置要被实际地测量。该方法包括:设定样本压射区域的集合的初始布置,以及向样本压射区域的集合添加在除了初始布置中的样本压射区域之外的压射区域之中的如下压射区域,在该压射区域中指示出使用估计模型获得的标记的位置的测量值的估计值的不确定度的值超出预定阈值。
本发明授权确定样本压射区域的集合的方法和信息处理装置在权利要求书中公布了:1.一种从基板的多个压射区域中确定样本压射区域的集合的方法,在每个样本压射区域中标记的位置要被实际地测量,该方法包括: 设定样本压射区域的集合的初始布置;以及 向样本压射区域的集合添加在除了初始布置中的样本压射区域之外的压射区域之中的如下压射区域,在该压射区域中指示出通过使用估计模型估计的标记的位置的估计值的不确定度的值超出预定阈值,指示出估计值的不确定度的值表示估计的标记的位置的误差的发生概率。
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