科磊股份有限公司巫朝红获国家专利权
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龙图腾网获悉科磊股份有限公司申请的专利用于检测缺陷的检测系统及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114503154B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202080069657.7,技术领域涉及:G06T7/00;该发明授权用于检测缺陷的检测系统及方法是由巫朝红;永·张设计研发完成,并于2020-10-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于检测缺陷的检测系统及方法在说明书摘要公布了:本发明公开一种检验系统。所述系统包含可与检验子系统通信地耦合的控制器,所述检验子系统经配置以接收来自样本的照射且产生图像数据。所述控制器包含一或多个处理器,其经配置以执行程序指令从而致使所述一或多个处理器:接收所述图像数据,其中所述图像数据包括至少一个图像;使用双三次内插或双线性内插对所述至少一个图像进行降低采样;使用傅里叶变换将所述至少一个图像从空间域变换到频域;从所述至少一个图像对高于阈值频率的频率进行滤波;使用逆傅里叶变换将所述至少一个图像从所述频域变换到所述空间域;及检测所述至少一个图像中的一或多个扁平图案缺陷。
本发明授权用于检测缺陷的检测系统及方法在权利要求书中公布了:1.一种检验系统,其包括: 控制器,其能够通信地耦合到检验子系统,其中所述检验子系统经配置以接收来自样本的照射且产生图像数据,其中所述控制器包含一或多个处理器,其经配置以执行程序指令从而致使所述一或多个处理器: 接收所述图像数据,其中所述图像数据包括至少一个图像; 使用双三次内插或双线性内插对所述至少一个图像进行降低采样; 使用傅里叶变换将所述至少一个图像从空间域变换到频域; 从所述至少一个图像对高于阈值频率的频率进行滤波; 使用逆傅里叶变换将所述至少一个图像从所述频域变换到所述空间域; 计算包括区、定界框、拟合椭圆的主轴长度及次轴长度或偏心率的形状特征;及 检测所述至少一个图像中的一或多个扁平图案缺陷。
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