爱德华兹有限公司D·M·普赖斯获国家专利权
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龙图腾网获悉爱德华兹有限公司申请的专利消减设备中操作条件的优化获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114599918B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080076980.7，技术领域涉及：F23G7/06；该发明授权消减设备中操作条件的优化是由D·M·普赖斯;M·C·格拉厄姆设计研发完成，并于2020-11-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本消减设备中操作条件的优化在说明书摘要公布了：公开了一种优化消减设备中的操作条件的方法和一种消减设备，这种消减设备被配置为处理来自加工工具的流出物流。优化被配置为处理来自加工工具的流出物流的消减设备中的操作条件的方法包括：确定当处理流出物流时由消减设备产生的一氧化碳的浓度；以及响应于一氧化碳的浓度来调整消减设备的操作参数。以此方式，可通过响应于所产生的一氧化碳的量简单地调整消减装置的操作参数来控制消减装置的性能，以在消减设备内创造改进消减装置内被处理的化合物的移除的条件，同时减少不期望的副产物，且不需要对流出物流的含量的预先了解。
本发明授权消减设备中操作条件的优化在权利要求书中公布了：1.一种优化消减设备的有小孔的燃烧器中的操作条件的方法，所述有小孔的燃烧器被供应有碳氢化合物燃料空气混合物，所述消减设备被配置成处理来自半导体加工工具的包括氢气的流出物流，所述方法包括： 将包括氢气的所述流出物流经由第一喷嘴供应到所述有小孔的燃烧器； 确定当处理所述流出物流时由所述消减设备产生的存在于所述消减设备的排气中的一氧化碳的浓度；以及 响应于所述一氧化碳的浓度，调整到所述消减设备的第二喷嘴的所述空气的供应，所述空气经由所述第二喷嘴被供应到所述有小孔的燃烧器；以及 i确定在增加所述空气的供应之后是否会增加所述一氧化碳的浓度，并且如果是，则减少所述空气的供应；或者 ii确定在减少所述空气的供应之后是否会增加所述一氧化碳的浓度，并且如果是，则增加所述空气的供应； 直到在步骤i或ii中，所述一氧化碳的浓度达到对应于氢气被完全破坏的空气流量区域的最低水平。
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