东京应化工业株式会社增田靖男获国家专利权
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龙图腾网获悉东京应化工业株式会社申请的专利化学放大型感光性组合物、感光性干膜及其制造方法、抗蚀剂膜的制造方法及酸扩散抑制剂获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114902134B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080089487.9，技术领域涉及：G03F7/004；该发明授权化学放大型感光性组合物、感光性干膜及其制造方法、抗蚀剂膜的制造方法及酸扩散抑制剂是由增田靖男;川上晃也;海老泽和明设计研发完成，并于2020-12-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本化学放大型感光性组合物、感光性干膜及其制造方法、抗蚀剂膜的制造方法及酸扩散抑制剂在说明书摘要公布了：本发明提供一种容易形成分辨率以及尺寸控制性高且截面形状的矩形性良好的抗蚀剂图案的化学放大型正型感光性组合物、具备由该化学放大型正型感光性组合物构成的感光性层的感光性干膜、该感光性干膜的制造方法、使用所述化学放大型正型感光性组合物的图案化的抗蚀剂膜的制造方法、掺混在化学放大型正型感光性组合物中的酸扩散抑制剂。在包含通过活性光线或放射线的照射而产生酸的产酸剂A与对碱的溶解性因酸的作用而增大的树脂B的化学放大型正型感光性组合物中掺混特定结构的酸扩撒抑制剂C。
本发明授权化学放大型感光性组合物、感光性干膜及其制造方法、抗蚀剂膜的制造方法及酸扩散抑制剂在权利要求书中公布了：1.一种化学放大型正型感光性组合物，其特征在于，含有： 产酸剂A，通过活性光线或放射线的照射而产生酸；树脂B，对碱的溶解性因酸的作用而增大；酸扩散抑制剂C， 所述酸扩散抑制剂C包含以下述式C1表示的化合物， [化1] 式C1中， R1c为烷基或芳烷基， R2c为烷基或芳烷基， R3c为氢原子或烷基， R4c为亚烷基， n1为0以上5以下的整数， n2为0以上5以下的整数， n3为0， 或者 R1c为碳原子数为6以上10以下的烷基或芳烷基， R2c为碳原子数为6以上10以下的烷基或芳烷基， R3c为氢原子或烷基， R4c为单键， n1为0以上5以下的整数， n2为0以上5以下的整数， n3为1， n1以及n2不同时为0。
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