细美事有限公司尹堵铉获国家专利权
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龙图腾网获悉细美事有限公司申请的专利基板处理设备和基板传送机器人获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115376963B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210541134.9，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权基板处理设备和基板传送机器人是由尹堵铉;李龙熙;郑镇优;朴美昭设计研发完成，并于2022-05-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理设备和基板传送机器人在说明书摘要公布了：本发明提供了一种基板处理设备。所述基板处理设备包括：液体处理腔室，所述液体处理腔室被配置为利用液体处理基板；干燥腔室，所述干燥腔室被配置为干燥经液体处理的基板；传送机器人，所述传送机器人被配置为在所述液体处理腔室与所述干燥腔室之间传送所述基板，并且包括能够沿X轴、Y轴和Z轴移动并且基于所述Z轴可旋转地驱动的手部，并且所述基板放置在所述手部上；光学系统，所述光学系统被配置为拍摄所述基板的液膜的形态，其中当所述基板从所述液体处理腔室传送到所述干燥腔室时，所述基板用化学液体润湿并且在形成液膜的状态下由所述传送机器人传送；以及控制器，所述控制器被配置为测量由所述光学系统拍摄的所述液膜的所述形态。
本发明授权基板处理设备和基板传送机器人在权利要求书中公布了：1.一种基板处理设备，包括： 液体处理腔室，所述液体处理腔室被配置为利用液体处理基板； 干燥腔室，所述干燥腔室被配置为干燥经液体处理的基板； 传送机器人，所述传送机器人被配置为在所述液体处理腔室与所述干燥腔室之间传送所述基板，并且包括能够沿X轴、Y轴和Z轴移动并且能够基于所述Z轴被可旋转地驱动的手部，并且所述基板放置在所述手部上； 光学系统，所述光学系统被配置为拍摄所述基板的液膜的形态，其中当所述基板从所述液体处理腔室传送到所述干燥腔室时，所述基板用化学液体润湿并且在形成液膜的状态下由所述传送机器人传送；以及 控制器，所述控制器被配置为测量由所述光学系统拍摄的所述液膜的所述形态， 其中所述光学系统是相机，所述相机从所述基板的侧表面拍摄所述基板的边缘区域，并且 其中所述控制器被配置为根据所拍摄的数据测量所述液膜相对于所述基板的接触角。
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