卡尔蔡司SMT有限责任公司J.赫茨勒获国家专利权
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龙图腾网获悉卡尔蔡司SMT有限责任公司申请的专利干涉形状测量的测量设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115380195B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180028436.X，技术领域涉及：G01B11/24；该发明授权干涉形状测量的测量设备是由J.赫茨勒设计研发完成，并于2021-02-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本干涉形状测量的测量设备在说明书摘要公布了：本发明涉及用于测试物14‑1；14‑2的表面12的干涉形状测量的测量设备10，该测量设备包括：衍射式光学元件26‑1；26‑2，用于从已经辐射进入的测量辐射18产生测试波28，该测试波被配置为辐射到测试物的表面上；偏转元件22，在测量辐射的束路径中衍射式光学元件的上游，以及用于保持偏转元件的保持装置24,124，该保持装置被配置为通过倾斜运动和平移运动的组合来改变偏转元件22的位置。
本发明授权干涉形状测量的测量设备在权利要求书中公布了：1.一种用于测试物的表面的干涉形状测量的测量设备，包括： -衍射式光学元件，用于从入射的测量辐射生成测试波，所述测试波被配置为辐射到所述测试物的表面上， -偏转元件，在所述测量辐射的束路径中所述衍射式光学元件的上游，以及 -用于保持所述偏转元件的保持装置，其被配置为通过倾斜运动和平移运动的组合来改变所述偏转元件的位置。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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