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龙图腾网获悉北京华卓精科科技股份有限公司申请的专利曝光周期调整装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115390364B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210870559.4，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权曝光周期调整装置及方法是由王杰;李娜设计研发完成，并于2022-07-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本曝光周期调整装置及方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种曝光周期调整装置及方法，涉及超精密测量领域。该装置包括控制模块以及与控制模块连接的第一、第二、第三和第四电动镜组，以及第一、第二位置探测器和周期测量模块，还包括第一、第二分光镜和第一、第二解耦透镜；第一入射光束能够依次通过第二电动镜组、第一电动镜组和第一分光镜；第二入射光束能够依次通过第四电动镜组、第三电动镜组和第一分光镜；两条入射光束在第一分光镜的入射点相同；经第一分光镜分光的光束，一路入射至周期测量模块，另一路通过第二分光镜；经第二分光镜分光的光束，一路通过第一解耦透镜后抵达第一位置探测器，另一路通过第二解耦透镜后抵达第二位置探测器。该装置调整精度高，适用范围广。

本发明授权曝光周期调整装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种曝光周期调整装置，其特征在于，包括控制模块900以及与所述控制模块900连接的第一电动镜组110、第二电动镜组120、第三电动镜组130、第四电动镜组140、第一位置探测器710、第二位置探测器720和周期测量模块800，还包括第一分光镜200、第二分光镜400、第一解耦透镜610和第二解耦透镜620； 所述第一电动镜组110和所述第二电动镜组120共同调节第一入射光束的曝光位置和入射角度，所述第三电动镜组130和所述第四电动镜组140共同调节第二入射光束的曝光位置和入射角度； 所述第一入射光束能够依次通过所述第二电动镜组120、所述第一电动镜组110和所述第一分光镜200；所述第二入射光束能够依次通过所述第四电动镜组140、所述第三电动镜组130和所述第一分光镜200；所述第一入射光束和所述第二入射光束在所述第一分光镜200的入射点相同；经所述第一分光镜200分光的光束，一路入射至所述周期测量模块800，另一路通过所述第二分光镜400；经所述第二分光镜400分光的光束，一路通过所述第一解耦透镜610后抵达所述第一位置探测器710，另一路通过所述第二解耦透镜620后抵达所述第二位置探测器720； 所述周期测量模块800用于在所述第一入射光束和所述第二入射光束同时入射时，测量两条入射光束产生的光栅条纹的实际曝光周期； 所述第一位置探测器710用于在所述第一入射光束和所述第二入射光束单独入射时，通过解耦计算获取对应入射光束的入射角度信息；所述第二位置探测器720用于在所述第一入射光束和所述第二入射光束单独入射时，通过解耦计算获取对应入射光束的曝光位置信息； 所述控制模块900根据第一入射光束的实际曝光周期和目标曝光周期以及实际曝光位置值和实际入射角度值，确定目标曝光位置值和目标入射角度值，并进一步确定曝光位置调整值和入射角度调整值；驱动第一电动镜组110和第二电动镜组120调整第一入射光束的曝光位置和入射角度；对第一入射光束调整完成后，参照第一入射光束的调整过程调整第二入射光束的曝光位置和入射角度，完成第一次调整；第一次调整完成后，如果入射光束所产生的光栅条纹的实际曝光周期与目标曝光周期的差值不满足误差要求，则重复上述步骤进行第二次调整，直至两条入射光束所产生的光栅条纹的实际曝光周期与目标曝光周期的差值满足误差求。

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