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龙图腾网获悉苏州华兴源创科技股份有限公司申请的专利晶圆检测设备定位方法、装置、计算机设备和存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115861264B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211637558.1，技术领域涉及：G06T7/00；该发明授权晶圆检测设备定位方法、装置、计算机设备和存储介质是由刘梦茹;熊星;李永杰设计研发完成，并于2022-12-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆检测设备定位方法、装置、计算机设备和存储介质在说明书摘要公布了：本申请涉及一种晶圆检测设备定位方法、装置、计算机设备、存储介质和计算机程序产品。所述方法包括：识别图像坐标系下的待测晶圆的位置；获取图像坐标系下的标准晶圆的标准位置；根据图像坐标系下的所述标准晶圆的标准位置与所述待测晶圆的位置，获取所述待测晶圆的第一位置偏差；根据所述第一位置偏差以及光栅尺坐标系与图像坐标系间的转换关系，对所述待测晶圆的拍摄点位坐标进行补偿。本申请通过获取图像坐标系下的待测晶圆与标准晶圆间的第一位置偏差，以及光栅尺坐标系与图像坐标系间的转换关系，完成对晶圆检测设备的拍摄点位的补偿，不需要对晶圆的位置进行调整，减少了晶圆检测定位的时间，提高了晶圆检测设备的效率。

本发明授权晶圆检测设备定位方法、装置、计算机设备和存储介质在权利要求书中公布了：1.一种晶圆检测设备定位方法，其特征在于，所述方法包括： 识别图像坐标系下的待测晶圆的位置； 获取图像坐标系下的标准晶圆的标准位置； 根据图像坐标系下的所述标准晶圆的标准位置与所述待测晶圆的位置，获取所述待测晶圆的第一位置偏差； 根据所述第一位置偏差以及光栅尺坐标系与图像坐标系间的转换关系，对所述待测晶圆的拍摄点位坐标进行补偿； 其中，光栅尺坐标系XOYO与图像坐标系XIYI转换关系表示为如下关系式： XO＝-KXXI+deltaXOI YO＝-KYYI+deltaYOI 式中，KX是图像坐标系与光栅尺坐标系间X轴的转换系数，KY是图像坐标系与光栅尺坐标系间Y轴坐标的转换系数，deltaXOI是图像坐标系与光栅尺坐标系间X轴的偏差量，deltaYOI是图像坐标系与光栅尺坐标系间Y轴的偏差量， 选择两个坐标点，分别获取这两个坐标点在图像坐标系与光栅尺坐标系下的坐标，即获取XO1，YO1，XI1，YI1，XO2，YO2以及XI2，YI2，将四个坐标带入上述光栅尺坐标系与图像坐标系间的转换表达式中，求解出KX、KY、deltaXOI以及deltaYOI； 且，所述获取图像坐标系下待测晶圆的位置之前包括： 识别待测晶圆的角度； 获取标准晶圆的标准角度； 根据所述标准晶圆的标准角度与所述待测晶圆的角度，获取所述待测晶圆的角度偏差。

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