上海微电子装备(集团)股份有限公司彭俊获国家专利权
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龙图腾网获悉上海微电子装备(集团)股份有限公司申请的专利调焦测量系统及光刻设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115903408B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111160739.5，技术领域涉及：G03F9/00；该发明授权调焦测量系统及光刻设备是由彭俊;张雨;王晓庆设计研发完成，并于2021-09-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本调焦测量系统及光刻设备在说明书摘要公布了：本发明提供了一种调焦测量系统及光刻设备，其中所述调焦测量系统包括：光源模块，用于提供短波长波段的照明光束；投影模块，用于使所述照明光束照射于目标面并形成一反射光束；探测单元，用于探测所述反射光束以生成一电信号；所述投影模块包括类梯形耦合棱镜，所述照明光束垂直入射和出射所述类梯形耦合棱镜，且所述类梯形耦合棱镜具有两个梯形斜边的倾斜面，分别作为所述照明光束的入射面和出射面。本发明通过设置类梯形耦合棱镜，且照明光束垂直入射和出射所述类梯形耦合棱镜，可以使所述调焦测量系统既满足Scheimpflug条件，又可以解决短波长波段的照明光束在光路上出现的色差问题。
本发明授权调焦测量系统及光刻设备在权利要求书中公布了：1.一种调焦测量系统，其特征在于，包括： 光源模块，用于提供短波长波段的照明光束； 投影模块，用于使所述照明光束照射于目标面并形成一反射光束； 探测单元，用于探测所述反射光束以生成一电信号； 所述投影模块包括类梯形耦合棱镜，所述照明光束垂直入射和出射所述类梯形耦合棱镜，且所述类梯形耦合棱镜具有两个梯形斜边的倾斜面，分别作为所述照明光束的入射面和出射面； 所述投影模块还包括投影标记单元，且所述投影标记单元设置在所述类梯形耦合棱镜内部，所述照明光束垂直入射所述类梯形耦合棱镜后，经所述投影标记单元获得具有标记像的光束。
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