哈尔滨工业大学李兴冀获国家专利权
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龙图腾网获悉哈尔滨工业大学申请的专利器件与工艺仿真的异步调试方法、装置及存储介质获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115906449B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211405276.9,技术领域涉及:G06F30/20;该发明授权器件与工艺仿真的异步调试方法、装置及存储介质是由李兴冀;骆吉洲;吕钢;杨剑群设计研发完成,并于2022-11-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本器件与工艺仿真的异步调试方法、装置及存储介质在说明书摘要公布了:本发明提供了一种器件与工艺仿真的异步调试方法、装置及存储介质,其中,器件与工艺仿真的异步调试方法包括:根据半导体器件的工艺仿真结果进行所述半导体器件的器件仿真过程;当所述器件仿真过程出现数据不收敛情况时,根据所述工艺仿真结果描述所述半导体器件的简化结构;根据所述简化结构重新进行所述器件仿真过程;根据重新进行的所述器件仿真过程进行评价。本方法能够实现器件、工艺联合仿真计算的诊断,以帮助用户定位直接将工艺仿真结果应用于器件物理特性仿真计算时出现数值计算不收敛的原因;且本方法能够利用提供的工具快速构建基于工艺仿真结果的器件结构并验证结构在器件仿真过程的数值计算收敛性,由此判定工艺仿真结果的合理性。
本发明授权器件与工艺仿真的异步调试方法、装置及存储介质在权利要求书中公布了:1.一种器件与工艺仿真的异步调试方法,其特征在于,包括: 根据半导体器件的工艺仿真结果进行所述半导体器件的器件仿真过程; 当所述器件仿真过程出现数据不收敛情况时,根据所述工艺仿真结果描述所述半导体器件的简化结构; 根据所述简化结构重新进行所述器件仿真过程; 根据重新进行的所述器件仿真过程进行评价; 其中,所述当所述器件仿真过程出现数据不收敛情况时,根据所述工艺仿真结果描述所述半导体器件的简化结构包括: 当所述器件仿真过程出现所述数据不收敛情况时,可视化所述工艺仿真结果; 当可视化的所述工艺仿真结果合理时,采用描述语言工具对可视化的所述工艺仿真结果进行描述,得到所述简化结构; 所述根据重新进行的所述器件仿真过程进行评价包括: 当所述器件仿真过程出现所述数据不收敛情况时,判定所述半导体器件的器件结构和简化结构不合理;当所述器件仿真过程未出现所述数据不收敛情况时,判定所述半导体器件的掺杂浓度数据不合理。
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