山东华光光电子股份有限公司王潇潇获国家专利权
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龙图腾网获悉山东华光光电子股份有限公司申请的专利一种针对不均匀外延片巴条的波长筛选方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115912042B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202111162842.3,技术领域涉及:H01S5/00;该发明授权一种针对不均匀外延片巴条的波长筛选方法是由王潇潇;苏建;刘琦;徐现刚;郑兆河设计研发完成,并于2021-09-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种针对不均匀外延片巴条的波长筛选方法在说明书摘要公布了:本发明涉及一种针对不均匀外延片巴条的波长筛选方法,属于半导体激光器技术领域。步骤如下:通过管芯工艺对外延片进行区域解理分割,将外延片分为若干巴条;对每个区域内的巴条进行编码;通过自动巴条测试机对巴条进行测试,测试条件保持一致;剔除不合格巴条后进行生产,根据生产应用情况进行反馈调节。本发明适用于波长一致性存在差异的外延片巴条进行波长筛选,且可以对不同尺寸外延片进行波长筛选,提高了产品波长对档率及生产效率,降低因波长不对档和外延片生长不均匀产生的生产及人力成本。
本发明授权一种针对不均匀外延片巴条的波长筛选方法在权利要求书中公布了:1.一种针对不均匀外延片巴条的波长筛选方法,其特征在于,步骤如下: 1通过管芯工艺对外延片进行区域解理分割,将外延片分为若干巴条; 2对每个区域内的巴条进行编码,使巴条具有唯一性,编码采用区域代码或数字组合,编码刻蚀在光刻板上; 3通过自动巴条测试机对巴条进行测试,测试条件保持一致,测试条件包括最大电流、测试温度和探针测试深度; 4确定巴条的波长波动范围,去除波长超出波动范围的巴条,筛选出符合要求的波长稳定的巴条后,以步骤1中划分的区域为单位整理巴条波长,在对应编码的巴条上标注波长,建立波长模型,方便寻找区域内波长分布规律; 5符合要求的巴条进行下一生产工序,对后续产品继续进行波长测试,若后续产品波长与筛选出的巴条波长一致,则进行规模生产应用,逐步进行动态反馈调节,若后续产品整体波长与筛选出的巴条波长不一致,则重新选取外延片进行筛选测试。
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