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龙图腾网获悉合肥芯碁微电子装备股份有限公司申请的专利曝光系统的控制方法和曝光系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115981113B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310159619.6，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权曝光系统的控制方法和曝光系统是由蔡健;张玉喆;孙召召;程建高;叶加良;戴晓霖;陈东设计研发完成，并于2023-02-21向国家知识产权局提交的专利申请。

本曝光系统的控制方法和曝光系统在说明书摘要公布了：本发明公开了一种曝光系统的控制方法和曝光系统，所述曝光系统的控制方法包括：获取所述曝光系统的工作参数和所述曝光系统的感光材料的曝光剂量输入值；根据所述工作参数和所述曝光剂量输入值获得所述脉冲激光器单脉冲发射能量；获取所述运动平台的位置同步信号；根据所述位置同步信号和所述单脉冲发射能量控制所述脉冲激光器发射激光；根据所述位置同步信号控制所述空间光调制器的翻转状态。采用该方法可以通过控制脉冲激光器输出激光脉冲，从而解决了运动平台的扫描速度提升产生的横线线条过粗的问题，有效提升了曝光系统的产能，保证了曝光图形的正确性，并且由于采用脉冲激光器，提高了曝光图形的精度和激光器能量的利用率。

本发明授权曝光系统的控制方法和曝光系统在权利要求书中公布了：1.一种曝光系统的控制方法，其特征在于，所述曝光系统包括脉冲激光器、空间光调制器、成像物镜、运动平台和曝光基板，所述控制方法包括： 获取所述曝光系统的工作参数和所述曝光系统的感光材料的曝光剂量输入值； 根据所述工作参数和所述曝光剂量输入值获得所述脉冲激光器单脉冲发射能量； 获取所述运动平台的位置同步信号； 根据所述位置同步信号和所述单脉冲发射能量控制所述脉冲激光器发射激光； 根据所述位置同步信号控制所述空间光调制器的翻转状态； 其中，获取所述曝光系统的工作参数，包括： 获取所述曝光系统的扫描宽度、扫描速度、所述空间光调制器的当前倾斜角度、所述空间光调制器的翻转频率和所述空间光调制器的镜元间距； 根据所述当前倾斜角度和所述空间光调制器的镜元间距确定所述空间光调制器的网格精度； 根据所述网格精度、所述扫描速度和所述翻转频率确定所述空间光调制器在一个扫描周期内的所需网格精度数量。

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