浙江巨化技术中心有限公司肖艳茹获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江巨化技术中心有限公司申请的专利一种高热稳定性氢氟醚的应用获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116063983B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310023352.8，技术领域涉及：C09K5/04；该发明授权一种高热稳定性氢氟醚的应用是由肖艳茹;雷志刚;苏利红;王宗令;吴四清;张品杰设计研发完成，并于2023-01-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种高热稳定性氢氟醚的应用在说明书摘要公布了：本发明公开了一种高热稳定性的氢氟醚的应用，高热稳定性的氢氟醚具有结构式：HCF2CF2CF2CF2CH2OCF2CF2H，其作为冷却剂用于半导体产品加工过程中控温设备的冷却器，优点在于将具有特定分子结构的高热稳定性的氢氟醚作为冷却剂用于半导体产品加工过程中控温设备的冷却器，由于该物质与宽温度范围内的大多数材料兼容性及良好的热稳定性、化学惰性和无腐蚀性，使用过程无毒，具有良好的环境和安全特性，ODP值为0，GWP值极低；且该物质具有出色的介电性能、低粘度和高电阻率，尤其适用于半导体晶圆刻蚀过程中的传热流体。
本发明授权一种高热稳定性氢氟醚的应用在权利要求书中公布了：1.一种高热稳定性的氢氟醚的应用，其特征在于所述的高热稳定性的氢氟醚具有结构式：HCF2CF2CF2CF2CH2OCF2CF2H，其体积电阻率为3.5×1011Ω•cm，热传导系数为0.23WmK，臭氧消耗潜能值为零，全球变暖潜能值为102，作为冷却剂单独用于半导体产品加工过程中控温设备的冷却器。
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